Revestidor por pulverização catódica magnetrônica com três alvos para revestimento de substratos e wafers.
1. O sistema de preparação de baterias de película fina com câmara de luvas está equipado com três canhões de alvo, e uma fonte de alimentação de radiofrequência compatível pode ser conectada a qualquer cabeçote de alvo através de uma chave de conversão, sendo utilizada para a deposição por pulverização catódica de diversos materiais de alvo (o canhão de alvo pode ser substituído a qualquer momento de acordo com as necessidades do cliente).
2. O sistema de preparação de baterias de película fina com câmara de luvas permite a preparação de diversos tipos de películas finas e é amplamente utilizado.
3. O sistema de preparação de baterias de película fina com caixa de luvas é de tamanho reduzido e muito fácil de operar.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução de um revestidor compacto por pulverização catódica a plasma:
O sistema de preparação de baterias de filme fino VGB-600-3HD com caixa de luvas permite operações experimentais em ambiente controlado e é utilizado para preparar filmes finos ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes finos condutores, filmes finos de liga, filmes finos semicondutores, filmes finos cerâmicos, filmes finos dielétricos, filmes finos ópticos, filmes finos de óxido, filmes finos rígidos, filmes finos de politetrafluoroetileno, etc. O revestidor de plasma compacto é equipado com três canhões de alvo e uma fonte de alimentação de RF compatível, que pode ser conectada a qualquer cabeçote de alvo através de uma chave de conversão, sendo utilizado para revestimento por pulverização catódica de diversos materiais. Comparado com equipamentos similares, o revestidor de plasma compacto não só é amplamente utilizado, como também apresenta as vantagens de tamanho reduzido e facilidade de operação. É um equipamento ideal para a preparação de filmes de materiais em laboratório. O revestidor de plasma compacto é particularmente adequado para pesquisas laboratoriais em baterias de filme fino, eletrólitos sólidos e OLEDs. Comparado com a pulverização catódica por magnetron convencional, ele pode ser utilizado para experimentos de revestimento em alvos de lítio e alvos de materiais à base de lítio. É um equipamento ideal para experimentos de revestimento em laboratório na indústria de novas energias.
Vantagens do revestidor por pulverização catódica por magnetron de radiofrequência com três alvos:
1. Equipado com três alvos de pulverização catódica, uma fonte de alimentação de RF pode ser direcionada para qualquer cabeçote de alvo através de uma chave de transferência, permitindo a deposição por pulverização catódica de diversos materiais de alvo (os canhões de alvo podem ser trocados de acordo com as necessidades do usuário).
2. Capaz de preparar múltiplos tipos de filmes finos, com ampla gama de aplicações.
3. Tamanho compacto e operação fácil.
4. Todo o sistema adota um design modular — a câmara de vácuo, a unidade de bombeamento de vácuo e a fonte de alimentação de controle são separadas independentemente, permitindo uma configuração flexível de acordo com as necessidades do usuário.
5. Os usuários podem escolher a configuração da fonte de alimentação com base em suas necessidades reais — seja uma única fonte de alimentação controlando vários dispositivos ou várias fontes de alimentação controlando cada dispositivo independentemente (opcional).
6. O sistema pode ser operado dentro de uma caixa de luvas para deposição usando diversos materiais alvo sensíveis à oxidação.
Parâmetros técnicos do revestidor compacto por pulverização catódica a plasma:
| Nome do produto | Revestidor de pulverização catódica por plasma compacto VGB-600-3HD |
| Modelo do produto | VGB-600-3HD |
| Parâmetros principais | Parte de pulverização catódica por magnetron com três alvos: 1. Tensão de alimentação: 220V 50Hz. 2. Potência total: 2,5 kW. 3. Vácuo máximo: < E-6mbar (pode atingir E-3mbar quando usado com o equipamento de bomba mecânica da nossa empresa). 4. Temperatura de trabalho: RT-500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais). 5. Número de armas alvo: 3. 6. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água. 7. Tamanho do alvo: Ø2″, espessura de 0,1 mm a 5 mm (a espessura varia devido aos diferentes materiais do alvo). 8. Potência de pulverização catódica: 300W (RF)/500W (DC). 9. Porta-amostras: Ø140mm. 10. Velocidade do transportador de amostra: ajustável entre 1 rpm e 20 rpm. 11. Gás protetor: gás inerte como Ar e N2. 12. Caminho de entrada de gás: O medidor de vazão mássica controla 2 caminhos de entrada, um com vazão de 100 SCCM e o outro com vazão de 200 SCCM. |
Gparte da caixa do amor: 1. Alimentação: monofásica AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Material da carcaça: aço inoxidável 304. 3. Câmara da caixa de luvas: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Câmara de pré-estágio: Existem 2 câmaras de pré-estágio, a câmara de pré-estágio grande tem Ø360mm×600mm e a câmara de pré-estágio pequena tem Ø150mm×300mm. 5. Ambiente da câmara: teor de água <1ppm (20℃, 1atm), teor de oxigênio <1ppm (20℃, 1atm). 6. Gás de trabalho: gás inerte como N₂2, Ar, Ele. 7. Gás de controle: ar comprimido ou gás inerte. 8. Gás redutor: uma mistura de gás de trabalho e H₂.2(Se o sistema de purificação tiver apenas a função de remover água, o gás redutor é o mesmo que o gás de trabalho). 9. Sistema de purificação de gás: Materiais desoxidantes da BASF (Alemanha), materiais absorventes de água da UOP (EUA), controle automático do processo de regeneração do sistema de purificação, funções automáticas de desidratação e desoxidação, que podem manter a pureza do gás em níveis de água <1 ppm e oxigênio <1 ppm por um longo período. 10. Sistema de controle de pressão: A pressão do ar na cavidade pode ser controlada automaticamente pela tela sensível ao toque do CLP com uma precisão de controle de ±1Pa, e também pode ser controlada manualmente pelo pedal. 11. Sistema de filtragem: Os filtros são instalados nas extremidades de entrada e saída, com uma precisão de filtragem de 0,3 μm. 12. Sistema de controle: tela sensível ao toque colorida SIEMENS (6 polegadas), sistema de controle PLC, comutável entre chinês e inglês; A sonda de medição de água utiliza a marca americana GE, possui tela sensível ao toque com escala de 0 a 1000 ppm e precisão de 0,1 ppm; O transmissor de oxigênio adota a marca americana AII, com tela sensível ao toque de 0 a 1000 ppm e precisão de 0,1 ppm; O sensor de pressão adota a marca americana Setra, com display touchscreen de -2500 a 2500 Pa e precisão de ±1 Pa; 13. Bomba de vácuo: marca britânica EDWARDS, velocidade de bombeamento de 8,4 m/s.3/h-12m3/h. 14. Luvas: de borracha sintética butílica da marca americana NORTH. 15. Sistema de iluminação: lâmpada fluorescente da marca Philips. | |
| Especificações do produto | • Parte de pulverização catódica por magnetron de três alvos: 950 mm × 460 mm × 810 mm. • Dimensões do compartimento das luvas: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Compromisso de qualidade de três alvos no revestidor por pulverização catódica por magnetron de radiofrequência:
Nossa empresa garante que o revestidor compacto por pulverização catódica a plasma fornecido é novo e não foi utilizado, atende plenamente aos requisitos de qualidade, especificações e desempenho estipulados em contrato, e que nosso sistema de preparação de baterias de filme fino com caixa de luvas pode operar normalmente sob condições corretas de instalação, uso e manutenção, e durante toda a sua vida útil.
Garantia:
Garantia limitada de um ano, suporte vitalício (exceto para peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento).
Nossos serviços:
Nossos produtos são reconhecidos por muitos clientes por seu excelente desempenho, qualidade estável e longa durabilidade. Contamos com uma equipe técnica profissional que oferece aos clientes suporte completo, incluindo seleção de produtos, instalação, comissionamento e treinamento operacional. Independentemente dos problemas que você encontrar durante o uso, nos esforçaremos para fornecer soluções rápidas e eficazes para que sua linha de produção funcione de forma eficiente e estável.
Sobre nós:
Recentemente, nossa filial de Singapura participou da Asia Photonics Expo (APE 2025), onde exibimos nossas máquinas de retificação e polimento, máquinas de revestimento e outros produtos. Após conhecerem os produtos em detalhes, muitos clientes elogiaram nossos equipamentos e manifestaram o desejo de cooperar conosco.
