Revestimento de pulverização catódica magnetron Three Targets para revestimento de substratos e wafers
1. O sistema de preparação de bateria de filme fino com caixa de luvas é equipado com três pistolas de alvo, e uma fonte de alimentação de RF correspondente pode ser conectada a qualquer cabeça de alvo por meio de um interruptor de conversão, que é usado para revestimento por pulverização catódica de vários materiais de alvo (a pistola de alvo pode ser substituída a qualquer momento, de acordo com as necessidades do cliente).
2. O sistema de preparação de bateria de filme fino com caixa de luvas pode preparar uma variedade de filmes finos e é amplamente utilizado.
3. O sistema de preparação de bateria de filme fino com caixa de luvas é pequeno e muito fácil de operar.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução do revestidor compacto de pulverização catódica por plasma:
O sistema de preparação de bateria de filme fino VGB-600-3HD com caixa de luvas pode ser usado para operação experimental na caixa de luvas e é usado para preparar filmes finos ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes finos condutores, filmes finos de liga, filmes finos semicondutores, filmes finos cerâmicos, filmes finos dielétricos, filmes finos ópticos, filmes finos de óxido, filmes finos duros, filmes finos de politetrafluoroetileno, etc. O revestidor de pulverização catódica de plasma compacto é equipado com três pistolas de alvo, e uma fonte de alimentação RF correspondente pode ser conectada a qualquer cabeça de alvo por meio de um interruptor de conversão, que é usado para revestimento de pulverização catódica de vários materiais de alvo. Comparado com equipamentos semelhantes, o revestidor de pulverização catódica de plasma compacto não é apenas amplamente utilizado, mas também tem as vantagens de tamanho pequeno e fácil operação. É um equipamento ideal para preparação laboratorial de filmes de materiais. O revestidor de pulverização catódica de plasma compacto é particularmente adequado para pesquisas laboratoriais em baterias de filme fino, eletrólitos sólidos e OLEDs. Comparado com a pulverização catódica de magnetron comum, ele pode ser usado para experimentos de revestimento em alvos de Li e alvos de materiais à base de lítio. É um equipamento ideal para experimentos de revestimento de laboratório na nova indústria de energia.
Vantagens do revestidor de pulverização catódica por magnetron RF de três alvos:
1. O revestidor de pulverização catódica de magnetron RF de três alvos adota um design modular, e a câmara de vácuo, o grupo da bomba de vácuo e a fonte de alimentação de controle são divididos e podem ser ajustados de acordo com as necessidades reais dos usuários.
2. O revestidor de pulverização catódica de magnetron RF de três alvos pode selecionar a fonte de alimentação de acordo com as necessidades reais dos usuários. Uma fonte de alimentação pode controlar várias armas de alvo, ou várias fontes de alimentação podem controlar uma única arma de alvo (opcional).
3. O revestidor de pulverização catódica por magnetron RF de três alvos pode ser usado para operação experimental na caixa de luvas, e vários tipos de materiais de alvo facilmente oxidados podem ser substituídos para experimentos de revestimento.
Parâmetros técnicos do revestidor compacto de pulverização catódica de plasma:
| Nome do produto | VGB-600-3HD Compact Plasma Sputtering Coater |
| Modelo do produto | VGB-600-3HD |
| Parâmetros principais | Parte de pulverização catódica de magnetron de três alvos: 1. Tensão de alimentação: 220V 50Hz. 2. Potência total: 2,5 kW. 3. Vácuo máximo: < E-6 mbar (pode atingir E-3 mbar quando usado com o equipamento de bomba mecânica da nossa empresa). 4. Temperatura de trabalho: RT-500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais). 5. Número de armas de alvo: 3. 6. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água. 7. Tamanho do alvo: Ø2″, espessura de 0,1 mm-5 mm (a espessura varia devido aos diferentes materiais do alvo). 8. Potência de pulverização catódica: 300 W (RF)/500 W (CC). 9. Porta-amostras: Ø140mm. 10. Velocidade do transportador de amostra: ajustável entre 1 rpm e 20 rpm. 11. Gás protetor: gás inerte como Ar e N2. 12. Caminho de entrada do gás: O medidor de vazão mássica controla 2 caminhos de entrada, um fluxo é de 100 SCCM e o outro fluxo é de 200 SCCM. |
Gparte da caixa de amor: 1. Fonte de alimentação: monofásica AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Material do invólucro: aço inoxidável 304. 3. Câmara do porta-luvas: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Câmara de pré-estágio: Existem 2 câmaras de pré-estágio, a câmara de pré-estágio grande tem Ø360 mm × 600 mm e a câmara de pré-estágio pequena tem Ø150 mm × 300 mm. 5. Ambiente da câmara: teor de água <1ppm (20℃, 1atm), teor de oxigênio <1ppm (20℃, 1atm). 6. Gás de trabalho: gás inerte como N2, Ar, He. 7. Gás de controle: ar comprimido ou gás inerte. 8. Gás de redução: mistura de gás de trabalho e H2 (se o sistema de purificação tiver apenas a função de remover água, o gás de redução é o mesmo que o gás de trabalho). 9. Sistema de purificação de gás: materiais desoxidantes alemães BASF, materiais absorventes de água americanos UOP, controle automático do processo de regeneração do sistema de purificação, funções automáticas de desidratação e desoxidação, que podem manter a pureza do gás em água <1ppm e oxigênio <1ppm por um longo tempo. 10. Sistema de controle de pressão: A pressão do ar da cavidade pode ser controlada automaticamente pela tela sensível ao toque do PLC com uma precisão de controle de ±1Pa, e também pode ser controlada manualmente pelo pedal. 11. Sistema de filtragem: Os filtros são instalados nas extremidades de entrada e saída, com precisão de filtragem de 0,3 μm. 12. Sistema de controle: tela sensível ao toque colorida SIEMENS (6 polegadas), sistema de controle PLC, comutável bilíngue em chinês e inglês; A sonda de água adota a marca americana GE, tela sensível ao toque de 0-1000 ppm, precisão de 0,1 ppm; O transmissor de oxigênio adota a marca americana AII, tela sensível ao toque de 0-1000 ppm, precisão de 0,1 ppm; O sensor de pressão adota a marca americana Setra, tela sensível ao toque de -2500-2500Pa, precisão de ±1Pa; 13. Bomba de vácuo: marca britânica EDWARDS, velocidade de bombeamento 8,4m3/h-12m3/h. 14. Luvas: borracha sintética butílica da marca americana NORTH. 15. Sistema de iluminação: tubo fluorescente da marca Philips. | |
| Especificações do produto | Parte de pulverização catódica de magnetron de três alvos: 950 mm × 460 mm × 810 mm. Parte do porta-luvas: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Compromisso de qualidade de três alvos do revestidor de pulverização catódica por magnetron RF:
Nossa empresa garante que o revestidor compacto de pulverização catódica de plasma fornecido é novo e sem uso, atende totalmente aos requisitos de qualidade, especificações e desempenho estipulados no contrato, e nosso sistema de preparação de bateria de filme fino com caixa de luvas pode operar normalmente sob instalação correta, uso correto e condições de manutenção e dentro da vida útil.
Garantia:
Garantia limitada de um ano, suporte vitalício (excluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)
Nossos serviços:
Nossos produtos são reconhecidos por muitos clientes por seu excelente desempenho, qualidade estável e durabilidade de longo prazo. Temos uma equipe técnica profissional que pode fornecer aos clientes uma gama completa de suporte de serviço, como seleção de produtos, instalação e comissionamento e treinamento de operação. Não importa quais problemas você encontre durante o uso, nós nos esforçaremos para fornecer soluções oportunas e eficazes para fazer sua linha de produção funcionar de forma eficiente e estável.
Sobre nós:
Não muito tempo atrás, nosso distrito de Cingapura participou da Asia Photonics Expo (APE 2025), onde exibimos nossas máquinas de moagem e polimento, máquinas de revestimento e outros produtos. Depois de aprender sobre os produtos em detalhes, muitos clientes elogiaram nossos equipamentos e expressaram seu desejo de cooperar conosco.
