Revestimento por pulverização catódica com 3 fontes de pulverização catódica e porta-luvas
Marca Shenyang Kejing
A Origem do Produto Shenyang, China
O tempo de entrega 44 dias úteis
A capacidade de abastecimento 50 conjuntos
O Sistema de Preparação de Bateria de Filme Fino VGB-600-3HD pode realizar operações experimentais em um porta-luvas e é usado para preparar filme ferroelétrico de camada única ou multicamada, filme condutor, filme de liga, filme semicondutor, filmes cerâmicos, filme dielétrico, filme óptico, filme de óxido, filme duro, filme de PTFE, etc. O sistema é equipado com três pistolas de alvo e uma fonte de alimentação de RF para revestimento por pulverização catódica de vários materiais de alvo. A fonte de alimentação de RF pode ser conectada a qualquer cabeçote de destino por uma chave de transferência.
Principais características
1. O sistema está equipado com três pistolas de alvo e uma fonte de alimentação de RF para revestimento por pulverização catódica de vários materiais de alvo. A fonte de alimentação de RF pode ser conectada a qualquer cabeçote de destino por uma chave de transferência. (A arma alvo pode ser trocada de acordo com a necessidade do cliente).
2. Uma variedade de filmes finos pode ser preparada com uma ampla gama de aplicações.
3. Tamanho pequeno e fácil de operar
4. Design modular de toda a máquina; design de tipo separado/dividido da câmara de vácuo, grupo de bomba de vácuo e fonte de alimentação de controle, que pode ser ajustado de acordo com as necessidades reais dos usuários. (opcional)
5. A fonte de alimentação pode ser selecionada de acordo com as necessidades reais do usuário. Uma fonte de alimentação pode controlar vários canhões de alvo ou várias fontes de energia podem controlar um único canhão de alvo.
6. A operação experimental pode ser realizada no porta-luvas, e vários tipos de alvos facilmente oxidáveis podem ser substituídos por experimentos de revestimento.
TParâmetros técnicos
Nome do Produto | Sistema de preparação de bateria de filme fino VGB-600-3HD |
Modelo do produto | VGB-600-3HD |
Parâmetros Principais (Especificação) | Parte de pulverização catódica de magnetron de três cabeças: 1. Tensão da fonte de alimentação: 220V 50Hz 2. Potência total: 2,5kW 3. Limite do grau de vácuo: E-6mbar (E-3mbar pode ser alcançado quando usado com equipamento de bomba mecânica da nossa empresa) 4. Temperatura de aquecimento: RT-500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais.) 5. Número de armas alvo: 3 peças 6. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água 7. Tamanho do material alvo: Ø2″, espessura 0,1-5mm (diferentes espessuras devido a diferentes materiais alvo) 8. Fonte de alimentação Sputtering: 300 W (RF)/500 W (DC) 9. Palco de amostra: Ø140mm 10. Velocidade do estágio de amostra: ajustável dentro de 1rpm a 20rpm 11. Gás de trabalho: Ar, N2e outros gases inertes 12. Trajeto de entrada de ar: O medidor de fluxo de massa controla 2 caminhos de entrada de ar, um é 100SCCM e o outro é 200SCCM. Parte da caixa de luva: 1. Fonte de alimentação: monofásica AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Material da carcaça: aço inoxidável 304 3. Câmara do porta-luvas: 1220mm×760mm×900mm 4. Câmara frontal: Existem 2 câmaras frontais, a grande câmara frontal é Ø360mm×600mm, e a pequena câmara frontal é Ø150mm×300mm. 5. Ambiente da câmara: teor de água <1ppm (20℃, 1atm), teor de oxigênio <1ppm (20℃, 1atm) 6. Gás de trabalho: N2, Ar, He e outros gases inertes 7. Gás de controle: ar comprimido ou gás inerte 8. Gás redutor: uma mistura de gás de trabalho e H2 (se o sistema de purificação tiver apenas a função de remover a água, o gás redutor é o mesmo que o gás de trabalho.) 9. Sistema de purificação de gás: Material desoxidante BASF alemão, material de absorção de água de alta eficiência UOP americano, controle automático do processo de regeneração do sistema de purificação, funções automáticas de remoção de água e oxigênio, capaz de manter continuamente a pureza do gás (no nível de água <1ppm e oxigênio <1ppm ) a longo prazo 10. Sistema de controle de pressão: A pressão do ar da câmara pode ser controlada automaticamente pela tela sensível ao toque do PLC, a precisão do controle é de ±1Pa e também pode ser controlada manualmente por um pedal. 11. Sistema de filtragem: Os filtros são instalados nas extremidades de entrada e saída e a precisão da filtragem é de 0,3 μm. 12. Sistema de controle: tela sensível ao toque colorida SIEMENS (6 polegadas), sistema de controle PLC, chinês e inglês bilíngüe comutado * A sonda de água adota a marca americana GE, com tela sensível ao toque de 0-1000 ppm e precisão de 0,1 ppm. * O transmissor de oxigênio adota a marca americana AII, com tela sensível ao toque de 0-1000 ppm e precisão de 0,1 ppm. * O sensor de pressão adota a marca americana Setra, com tela sensível ao toque de -2500-2500Pa e precisão de ±1Pa. 13. Bomba de vácuo: marca britânica EDWARDS com velocidade de bombeamento 8,4m3/h-12m3/h 14. Luvas: marca americana NORTH (borracha butílica sintética) 15. Sistema de iluminação: marca Philips (tubo fluorescente) |
Dimensão do produto | Parte de pulverização catódica de magnetron de três cabeças: 950 mm × 460 mm × 810 mm Peça do porta-luvas: 2300mm×1500mm×1900mm |
garantia
Um ano limitado com suporte vitalício (não inclui peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)
Logística
