طبقة رش البلازما مع 3 مصادر رش وصندوق قفازات

製品モデル

VGB-600-3HD

主なパラメータ

（仕様）

3ヘッドマグネトロンスパッタリング部：

1.電源電圧：220V 50Hz

2. 総電力: 2.5kW

3. 真空度の限界：E-6mbar（弊社の機械式ポンプ設備と併用するとE-3mbarまで到達可能）

4.加熱温度：RT-500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます。）

5. 標的銃の数：3個

6. ターゲットガンの冷却方法：水冷

7. ターゲット材料のサイズ：Ø2″、厚さ0.1～5mm（ターゲット材料によって厚さは異なります）

8. スパッタリング電源：300W（RF）/500W（DC）

9. サンプルステージ: Ø140mm

10. サンプルステージの速度: 1rpm～20rpmの範囲で調整可能

11.作動ガス：Ar、N₂およびその他の不活性ガス

12. 吸気経路：質量流量計は 2 つの吸気経路を制御します。1 つは 100SCCM、もう 1 つは 200SCCM です。

グローブボックス部分:

1.電源：単相AC110V-220V 50Hz/60Hz

2. シェル材質：304ステンレス鋼

3. グローブボックス室：1220mm×760mm×900mm

4. 前室：前室は2つあり、大きい前室はØ360mm×600mm、小さい前室はØ150mm×300mmです。

5. チャンバー環境：水分含有量<1ppm（20℃、1atm）、酸素含有量<1ppm（20℃、1atm）

6.作動ガス：N₂、Ar、Heおよびその他の不活性ガス

7. 制御ガス: 圧縮空気または不活性ガス

8. 還元ガス：作動ガスとHの混合物₂ （浄化システムが水分を除去する機能のみを有する場合、還元ガスは作動ガスと同じである。）

9. ガス精製システム：

ドイツBASFの脱酸素材、アメリカUOPの高効率吸水材、浄化システムの再生プロセスの自動制御、自動水と酸素除去機能、長期的にガス純度（水<1ppm、酸素<1ppmのレベル）を継続的に維持できます。

10. 圧力制御システム：チャンバー内の空気圧はPLCタッチスクリーンで自動的に制御でき、制御精度は±1Paです。また、フットスイッチで手動で制御することもできます。

11.濾過システム：入口と出口の両端にフィルターが設置されており、濾過精度は0.3μmです。

12. 制御システム: SIEMENS カラータッチスクリーン (6 インチ)、PLC 制御システム、中国語と英語のバイリンガルスイッチ

    * 水質プローブはアメリカのGEブランドを採用し、0〜1000ppmのタッチスクリーンディスプレイと0.1ppmの精度を備えています。

    * 酸素トランスミッターはアメリカのAIIブランドを採用し、0〜1000ppmのタッチスクリーンディスプレイと0.1ppmの精度を備えています。

    * 圧力センサーはアメリカのsetraブランドを採用し、-2500〜2500Paのタッチスクリーンディスプレイと±1Paの精度を備えています。

13. 真空ポンプ：英国EDWARDSブランド、排気速度8.4m3/h-12m³/時間

14. 手袋：アメリカ製NORTHブランド（ブチル合成ゴム）

15. 照明システム：フィリップスブランド（蛍光管）

製品寸法

3ヘッドマグネトロンスパッタ部：950mm×460mm×810mm

グローブボックス部：2300mm×1500mm×1900mm