Revestidor por pulverização catódica a plasma com 3 fontes de pulverização e caixa de luvas.
O sistema de preparação de baterias de filme fino VGB-600-3HD permite a realização de operações experimentais em uma câmara de luvas e é utilizado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes rígidos, filmes de PTFE, etc. O sistema está equipado com três canhões de alvo e uma fonte de alimentação de RF para revestimento por pulverização catódica de diversos materiais de alvo. A fonte de alimentação de RF pode ser conectada a qualquer cabeçote de alvo por meio de uma chave de transferência.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 44 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Apresentação do produto
OSistema de deposição de filme fino para baterias VGB-600-3HDÉ projetado para uso dentro de uma caixa de luvas, permitindo a preparação de filmes finos de camada única ou multicamadas, como filmes ferroelétricos, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, revestimentos duros e filmes de PTFE.
Este sistema está equipado comtrês canhões de pulverização catódica, com umfonte de alimentação de RFque pode ser alternado para qualquer um dos três alvos através de uma chave de transferência, permitindo a pulverização catódica flexível de diferentes materiais-alvo.
Comparado com equipamentos similares, o VGB-600-3HD oferecemaior versatilidade de aplicação,estrutura compacta, eoperação fácil, tornando-o umInstrumento ideal para preparação de filmes finos em laboratório.É especialmente adequado paraPesquisa sobre baterias de película fina, eletrólitos de estado sólido e materiais OLED..
Ao contrário dos sistemas convencionais de pulverização catódica por magnetron, este modelo suporta pulverização usandolítio e materiais-alvo à base de lítio, tornando-se uma solução preferida paraExperimentos de revestimento de película fina em laboratórios de novas energias.
Principais características
1. O sistema está equipado com três canhões de alvo e uma fonte de alimentação de radiofrequência para revestimento por pulverização catódica de diversos materiais de alvo. A fonte de alimentação de radiofrequência pode ser conectada a qualquer cabeçote de alvo por meio de uma chave de transferência. (O canhão de alvo pode ser trocado de acordo com as necessidades do cliente).
2. Uma variedade de filmes finos pode ser preparada com uma ampla gama de aplicações.
3. Tamanho pequeno e fácil de operar
4. Design modular de toda a máquina; design separado/dividido da câmara de vácuo, grupo de bomba de vácuo e fonte de alimentação de controle, que pode ser ajustado de acordo com as necessidades reais dos usuários. (opcional)
5. A fonte de alimentação pode ser selecionada de acordo com as necessidades reais do usuário. Uma única fonte de alimentação pode controlar várias armas de alvo, ou várias fontes de alimentação podem controlar uma única arma de alvo.
6. A operação experimental pode ser realizada em uma caixa de luvas, e vários tipos de alvos facilmente oxidáveis podem ser usados nos experimentos de revestimento.
TParâmetros técnicos
Nome do produto | Sistema de preparação de baterias de película fina VGB-600-3HD |
Modelo do produto | VGB-600-3HD |
Parâmetros principais (Especificação) | Parte de pulverização catódica por magnetron de três cabeças: 1. Tensão de alimentação: 220V 50Hz 2. Potência total: 2,5 kW 3. Limite de grau de vácuo: E-6mbar (E-3mbar pode ser alcançado quando usado com o equipamento de bomba mecânica da nossa empresa) 4. Temperatura de aquecimento: RT-500℃, precisão ±1℃ (A temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais.) 5. Número de armas de alvo: 3 unidades 6. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água 7. Dimensões do material alvo: Ø2″, espessura de 0,1 a 5 mm (espessuras diferentes devido aos diferentes materiais alvo) 8. Fonte de alimentação para pulverização catódica: 300W (RF)/500W (DC) 9. Plataforma de amostra: Ø140mm 10. Velocidade da plataforma de amostra: ajustável entre 1 rpm e 20 rpm. 11. Gás de trabalho: Ar, N2e outros gases inertes 12. Circuito de admissão de ar: O medidor de fluxo de massa controla 2 circuitos de admissão de ar, um de 100 SCCM e o outro de 200 SCCM. Parte do porta-luvas: 1. Alimentação: monofásica AC 110V-220V 50Hz/60Hz 2. Material da carcaça: aço inoxidável 304 3. Câmara da caixa de luvas: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Câmara frontal: Existem 2 câmaras frontais, a câmara frontal maior mede Ø360mm×600mm e a câmara frontal menor mede Ø150mm×300mm. 5. Ambiente da câmara: teor de água <1 ppm (20℃, 1 atm), teor de oxigênio <1 ppm (20℃, 1 atm) 6. Gás de trabalho: N2, Ar, He e outros gases nobres 7. Gás de controle: ar comprimido ou gás inerte 8. Gás redutor: uma mistura de gás de trabalho e H₂.2 (Se o sistema de purificação tiver apenas a função de remover água, o gás redutor é o mesmo que o gás de trabalho.) 9. Sistema de purificação de gás: Material desoxidante da BASF (Alemanha), material absorvente de água de alta eficiência da UOP (EUA), controle automático do processo de regeneração do sistema de purificação, funções automáticas de remoção de água e oxigênio, capaz de manter continuamente a pureza do gás (com níveis de água <1 ppm e oxigênio <1 ppm) a longo prazo. 10. Sistema de controle de pressão: A pressão do ar na câmara pode ser controlada automaticamente por meio de uma tela sensível ao toque PLC, com precisão de ±1Pa, e também pode ser controlada manualmente por um pedal. 11. Sistema de filtragem: Os filtros são instalados nas extremidades de entrada e saída, e a precisão da filtragem é de 0,3 μm. 12. Sistema de controle: Tela sensível ao toque colorida SIEMENS (6 polegadas), sistema de controle PLC, comutação bilíngue em chinês e inglês. * A sonda de água é da marca americana GE, com tela sensível ao toque de 0 a 1000 ppm e precisão de 0,1 ppm. * O transmissor de oxigênio adota a marca americana AII, com tela sensível ao toque de 0 a 1000 ppm e precisão de 0,1 ppm. * O sensor de pressão adota a marca americana Setra, com display touchscreen de -2500 a 2500 Pa e precisão de ±1 Pa. 13. Bomba de vácuo: marca britânica EDWARDS com velocidade de bombeamento de 8,4 m³/h a 12 m3/h 14. Luvas: marca americana NORTH (borracha sintética butílica) 15. Sistema de iluminação: marca Philips (lâmpada fluorescente) |
Dimensões do produto | Parte de pulverização catódica por magnetron de três cabeças: 950 mm × 460 mm × 810 mm Dimensões da caixa de luvas: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garantia
Garantia limitada de um ano com suporte vitalício (exceto peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento).
Logística
