Revestimento por pulverização catódica de plasma magnetron de cabeça dupla de alto vácuo

Modelo do produto

VTC-600-2HD

Condições de instalação

Este equipamento deve ser usado a uma altitude de 1000m ou menos, uma temperatura de 25℃±15℃ e uma umidade de 55%Rh±10%Rh.

1. Água: O equipamento é equipado com um resfriador de água autocirculante (enchimento com água pura ou água deionizada)

2. Eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter um bom aterramento

3. gás: A câmara do equipamento precisa ser preenchida com gás argônio (pureza 99,99% ou mais), e cilindros de gás argônio (com juntas de ponteira dupla de Ø6mm) e válvula redutora de pressão precisam ser fornecidos pelos usuários.

4. Bancada: tamanho 1500mm×600mm×700mm, suportando mais de 200kg

5. Dispositivo de ventilação: necessário

Parâmetros Principais

(Especificação)

1. Tensão da fonte de alimentação: 220V 50Hz

2. Potência: 900W

3. Diâmetro interno da Câmara: Ø300mm

4. Limite do grau de vácuo: 9,0 × 10-4Pa

5. Temperatura de aquecimento do estágio de amostra: RT-500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais.)

6. Número de armas alvo: 2 peças (outras quantidades para opção)

7. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água

8. Tamanho do material alvo: Ø2″, espessura 0,1-5mm (diferentes espessuras devido a diferentes materiais alvo)

9. Potência de pulverização DC: 500W; Potência de pulverização de RF: 300 W (o tipo de fonte de alimentação de destino é opcional, escolhendo duas fontes de alimentação DC ou duas fontes de alimentação de RF, ou uma fonte de alimentação DC mais uma fonte de alimentação de RF).

10. Estágio de amostra: Ø140mm, função de tensão de polarização opcional pode ser instalada de acordo com os requisitos do cliente para alcançar maior qualidade de revestimento.

11. Velocidade do estágio de amostra: ajustável entre 1rpm-20rpm

12. Gás de trabalho: Ar e outros gases inertes

13. Trajeto de entrada de ar: O medidor de fluxo de massa controla 2 caminhos de entrada de ar, um é 100SCCM e o outro é 200SCCM.

Dimensão e peso do produto

1. dimensão da máquina principal: 500mm×560mm×660mm

2. Dimensão total: 1300 mm × 660 mm × 1200 mm

3. Dimensão da câmara de vácuo: φ300×300mm

4. Peso: 160kg

Acessórios padrão

1. Sistema de controle de energia CC: 1 conjunto

2. Sistema de controle de potência de RF: 1 conjunto

3. Sistema de monitor de espessura de filme: 1 conjunto

4. Bomba Molecular (importada da Alemanha): 1 unid.

5. Refrigerador de água: 1 unid.

6.Tubo PU poliéster (Ø6mm): 4m

acessórios opcionais

Vários materiais alvo, como ouro, índio, prata, platina, etc.