Plasma Sputtering Coater com 3 Fontes de Sputtering
Marca Shenyang Kejing
A Origem do Produto Shenyang, China
O tempo de entrega 22 dias úteis
A capacidade de abastecimento 50 conjuntos
VTC-600-3HD Threel-Head Magnetron Sputtering Coater é um equipamento de revestimento recentemente desenvolvido por nossa empresa e é usado para preparar filme ferroelétrico de camada única ou multicamada, filme condutor, filme de liga, filme semicondutor, filme cerâmico, filme dielétrico , filme óptico, filme de óxido, filme duro, filme de PTFE, etc. O revestidor de pulverização catódica de magnetron de três cabeças VTC-600-3HD é equipado com três pistolas de alvo, uma fonte de alimentação de RF para revestimento por pulverização de materiais não condutores e duas fontes de alimentação DC suprimentos para revestimento por pulverização de materiais condutores.
Principais características
1. É equipado com três pistolas de alvo, uma fonte de alimentação de RF é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais não condutores e duas fontes de alimentação CC são usadas para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores (a pistola de alvo pode ser trocada de acordo com as necessidades do cliente) .
2. Uma variedade de filmes finos pode ser preparada com uma ampla gama de aplicações.
3. Tamanho pequeno e fácil de operar
4. Design modular de toda a máquina; design de tipo separado/dividido da câmara de vácuo, grupo de bomba de vácuo e fonte de alimentação de controle, que pode ser ajustado de acordo com as necessidades reais dos usuários.
5. A fonte de alimentação pode ser selecionada de acordo com as necessidades reais do usuário. Uma fonte de alimentação pode controlar vários canhões de alvo ou várias fontes de energia podem controlar um único canhão de alvo.
TParâmetros técnicos
Nome do Produto | Revestimento por pulverização catódica VTC-600-3HD Magnetron de três cabeças |
Modelo do produto | VTC-600-3HD |
Condições de instalação | Este equipamento deve ser usado a uma altitude de 1000m ou menos, uma temperatura de 25℃±15℃ e uma umidade de 55%Rh±10%Rh. 1. Água: O equipamento é equipado com um resfriador de água autocirculante (enchimento com água pura ou água deionizada) 2. Eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter um bom aterramento 3. gás: A câmara do equipamento precisa ser preenchida com gás argônio (pureza 99,99% ou mais), e cilindros de gás argônio (com juntas de ponteira dupla de Ø6mm) e válvula redutora de pressão precisam ser fornecidos pelos usuários. 4. Bancada: tamanho 1500mm×600mm×700mm, suportando mais de 200kg 5. Dispositivo de ventilação: necessário |
Parâmetros Principais (Especificação) | 1. Tensão da fonte de alimentação: 220V 50Hz 2. Potência: ＜2,5kW 3. Limite do grau de vácuo: E-6mbar (E-5mbar pode ser alcançado quando usado com equipamentos de nossa empresa) 4. Temperatura de aquecimento: RT-500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais.) 5. Número de armas alvo: 3 peças 6. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água 7. Tamanho do material alvo: Ø2″, espessura 0,1-5mm (diferentes espessuras devido a diferentes materiais alvo) 8. Potência de pulverização DC: 500W (opcional) 9. Potência de pulverização de RF: 300W/500W (opcional) 10. Estágio de amostra: Ø140mm, função de tensão de polarização opcional pode ser instalada de acordo com os requisitos do cliente para alcançar maior qualidade de revestimento. 11. Velocidade do estágio de amostra: ajustável de 1rpm a 20rpm 12. Gás de trabalho: Ar , N2e outros gases inertes 13. Trajeto de entrada de ar: O medidor de fluxo de massa controla 2 caminhos de entrada de ar, um é 100SCCM e o outro é 200SCCM. |
Dimensão e peso do produto | dimensão principal da máquina: 500mm×560mm×660mm Dimensão total: 1300mm×660mm×1200mm Peso: 160kg
|
Acessórios padrão | 1. Sistema de controle de energia CC: 2 conjuntos 2. Sistema de controle de potência de RF: 1 conjunto 3. Sistema de monitor de espessura de filme: 1 conjunto 4. Bomba Molecular (importada da Alemanha): 1 unid. 5. Refrigerador de água: 1 unid. 6.Tubo PU poliéster (Ø6mm): 4m |
acessórios opcionais | 1. Vários materiais alvo, como ouro, índio, prata, platina, etc. 2. Máscara 3. Estágio de Amostra Vibratória |
garantia
Um ano limitado com suporte vitalício (não inclui peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)
Logística
