Equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetrônica de alto vácuo

Introdução aos equipamentos de revestimento de laboratório:

O equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetron VTC-800G é um equipamento compacto desenvolvido por nós. Este equipamento de revestimento de pequeno porte é amplamente utilizado na preparação de filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes duros e filmes de politetrafluoroetileno.

Equipamentos de revestimento de pequeno porte podem ser equipados com um sistema de canhão multialvo, que suporta a pulverização catódica por radiofrequência (RF) de materiais não condutores e a pulverização catódica por corrente contínua (DC) de materiais condutores, para atender a diversos requisitos de processo.

Em comparação com equipamentos similares, o equipamento de revestimento VTC-800G Small é compacto, fácil de operar e flexível em sua aplicação. É a escolha ideal para a preparação laboratorial de materiais funcionais em filmes finos, sendo especialmente adequado para pesquisa e desenvolvimento de novos materiais, como eletrólitos sólidos e OLEDs.

Principais características dos equipamentos de revestimento de precisão:

1. Equipamentos de revestimento de pequeno porte podem ser equipados com múltiplos canhões de alvo, suportando fontes de alimentação de RF e CC, que são usados ​​para revestimento por pulverização catódica de materiais de alvo não condutores e condutores, respectivamente, e os canhões de alvo podem ser substituídos de forma flexível conforme necessário;

2. Os equipamentos de revestimento de precisão são compatíveis com a preparação de diversos filmes funcionais e possuem uma ampla gama de aplicações;

3. Os equipamentos de revestimento de precisão são de tamanho reduzido, estrutura compacta, fáceis de operar e adequados para diversos ambientes de laboratório;

4. Os equipamentos de revestimento de precisão possuem um design modular, e a câmara de vácuo, o grupo de bombas e o sistema de controle de energia são separados e podem ser combinados de forma flexível de acordo com as necessidades reais;

5. Os equipamentos de revestimento de laboratório suportam múltiplos métodos de controle de energia: uma única fonte de alimentação controla várias pistolas de revestimento ou várias fontes de alimentação controlam independentemente as pistolas de revestimento para atender a diferentes requisitos de processo.

Parâmetros técnicos de equipamentos de revestimento de precisão:

Nome do produto	VTC-800G Equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetron
Modelo do produto	VTC-800G
Parâmetros principais	1. Estrutura da câmara: design com tampa superior cilíndrica, sistema de escape traseiro. 2. Vácuo máximo: 6,0×10-5Bem. 3. Taxa de vazamento de vácuo: ≤0,5 Pa em 1 hora. 4. Tempo de exaustão: cerca de 30 minutos da atmosfera até 5,0×10-3Bem. 5. Configuração do grupo de bombas de vácuo: bomba mecânica + bomba molecular. 6. Parâmetros da etapa de amostragem: • Tamanho: Ø205 • Faixa de temperatura: temperatura ambiente ~ 500℃, precisão ±1℃ • Velocidade de rotação: 5 a 20 rpm (ajustável). 7. Função de polarização: opcional (usada para melhorar a qualidade do filme). 8. Sistema de enchimento de gás: medidor de vazão mássica de canal duplo (argônio/nitrogênio cada) 9. Ângulo da cabeça alvo: o ângulo entre a cabeça alvo e o eixo central da plataforma de amostras é de 34°. 10. Número de cabeçotes alvo: 2 como padrão (expansível para 4 como opcional). 11. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água 12. Especificações do material alvo: diâmetro Ø3″, espessura 0,1~5mm (dependendo do material alvo)
	13. Especificações do equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetron: • Dimensões totais: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm

Sobre nós:

Nossa empresa atua no ramo de produção cinematográfica há muitos anos e possui vasta experiência. Além disso, contamos com uma variedade de equipamentos adequados para diferentes materiais, atendendo às suas diversas necessidades. Podemos também ajudá-lo a testar a eficácia dos equipamentos. Você pode nos fornecer amostras e nós as prepararemos para que você possa visualizar o desempenho dos nossos produtos de forma mais intuitiva. Se você aprovar nossos produtos, poderá adquiri-los e realizar seu trabalho com mais eficiência.