Equipamento de revestimento por pulverização catódica de magnetron de alto vácuo
1. O equipamento de revestimento de laboratório tem alta apresentação de efeito e melhora muito a precisão do trabalho.
2. O equipamento de revestimento de laboratório é desenvolvido de forma independente por nós, com perfeito controle da tecnologia.
3. O equipamento de revestimento de laboratório é amplamente utilizado e adequado para vários tipos de filmes.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução de equipamentos de revestimento de laboratório:
O VTC-800G é um pequeno equipamento de revestimento por pulverização catódica Magnetron desenvolvido de forma independente por nós. Este pequeno equipamento de revestimento é amplamente utilizado na preparação de filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes rígidos e filmes de politetrafluoroetileno.
Pequenos equipamentos de revestimento podem ser equipados com um sistema de pistola multialvo, que suporta pulverização catódica de potência RF de materiais não condutores e pulverização catódica de potência CC de materiais condutores para atender a vários requisitos de processo.
Comparado com equipamentos similares, o equipamento de revestimento VTC-800G Small é compacto, fácil de operar e flexível na aplicação. É a escolha ideal para a preparação laboratorial de materiais de filmes finos funcionais, especialmente adequado para pesquisa e desenvolvimento de novos materiais, como eletrólitos sólidos e OLEDs.
Principais características do equipamento de revestimento de precisão:
1. Pequenos equipamentos de revestimento podem ser equipados com múltiplas pistolas de alvo, suportando fontes de alimentação RF e DC, que são usadas para revestimento por pulverização catódica de materiais de alvo não condutores e condutores, respectivamente, e as pistolas de alvo podem ser substituídas de forma flexível conforme necessário;
2. O equipamento de revestimento de precisão é compatível com a preparação de vários filmes funcionais e tem uma ampla gama de aplicações;
3. O equipamento de revestimento de precisão é pequeno em tamanho, compacto em estrutura, fácil de operar e adequado para vários ambientes de laboratório;
4. O equipamento de revestimento de precisão tem um design modular, e a câmara de vácuo, o grupo da bomba e o sistema de controle de energia são separados e podem ser combinados de forma flexível de acordo com as necessidades reais;
5. O equipamento de revestimento de laboratório suporta múltiplos métodos de controle de energia: uma única fonte de alimentação controla múltiplas pistolas-alvo ou múltiplas fontes de alimentação controlam independentemente pistolas-alvo para atender a diferentes requisitos de processo.
Parâmetros técnicos do equipamento de revestimento de precisão:
| Nome do produto | Equipamento de revestimento por pulverização catódica magnetron | |
| Modelo do produto | VTC-800G | |
| Parâmetros principais | 1. Estrutura da câmara: design de tampa superior cilíndrica, sistema de exaustão traseiro. 2. Vácuo máximo: 6,0×10-5 Pa. 3. Taxa de vazamento de vácuo: ≤0,5 Pa em 1 hora. 4. Tempo de exaustão: cerca de 30 minutos da atmosfera para 5,0×10-3 Pa. 5. Configuração do grupo de bombas de vácuo: bomba mecânica + bomba molecular. 6. Parâmetros do estágio de amostra: · Tamanho: Ø205 · Faixa de temperatura: temperatura ambiente ~ 500℃, precisão ±1℃ · Velocidade de rotação: 5~20rpm (ajustável). 7. Função de polarização: opcional (usada para melhorar a qualidade do filme). 8. Sistema de enchimento de gás: medidor de vazão mássica de canal duplo (argônio/nitrogênio cada) 9. Ângulo da cabeça alvo: o ângulo entre a cabeça alvo e o eixo central do estágio da amostra é de 34° 10. Número de cabeças de alvo: 2 como padrão (pode ser expandido para 4 como opção). 11. Método de resfriamento da arma de alvo: resfriamento a água 12. Especificações do material alvo: diâmetro Ø3″, espessura 0,1~5mm (dependendo do material alvo） | |
13. Especificações do equipamento de revestimento por pulverização catódica Magnetron: · Tamanho total: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm |  | |
Sobre nós:
Nossa empresa atua profundamente na área de produção cinematográfica há muitos anos e possui uma experiência excepcional. Além disso, contamos com uma variedade de equipamentos adequados para diferentes materiais, atendendo às suas diversas necessidades. Também podemos ajudá-lo a testar o efeito do equipamento. Você pode nos fornecer amostras e nós as prepararemos para que você possa ver o efeito dos nossos produtos de forma mais intuitiva. Se você aprovar nossos produtos, poderá comprá-los e realizar seu trabalho com mais tranquilidade.
