Instrumento de pulverização catódica magnetron de três alvos
1. O equipamento de revestimento de três alvos tem alta precisão, pequeno erro de resultado e mais tranquilidade durante o uso.
2. O equipamento de revestimento de três alvos é fácil de operar e reduz o tempo de aprendizado.
3. O equipamento de revestimento de três alvos é adequado para uma variedade de materiais, reduzindo o consumo de vários equipamentos.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução de equipamento de revestimento a vácuo de três alvos:
O equipamento de revestimento a vácuo de três alvos VTC-600-3HD-1000 é um equipamento de revestimento de alto vácuo recentemente desenvolvido por nossa empresa. Ele pode ser usado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes rígidos, filmes de politetrafluoroetileno, etc. O equipamento de revestimento a vácuo de três alvos VTC-600-3HD-1000 é equipado com três pistolas de alvo e três fontes de alimentação, uma fonte de alimentação RF é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais não condutores, uma fonte de alimentação CC é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores e um alvo magnético forte pode ser usado para revestimento por pulverização catódica de materiais ferromagnéticos. Comparado com equipamentos similares, o equipamento de revestimento a vácuo de três alvos tem as vantagens de tamanho pequeno e fácil operação, e uma ampla gama de materiais pode ser usada. É um equipamento ideal para preparar vários filmes de materiais no laboratório.
Principais características do revestidor de pulverização catódica de alto vácuo com alvo triplo:
1. O revestidor de pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo é equipado com três pistolas de alvo, duas fontes de alimentação RF correspondentes são usadas para revestimento por pulverização catódica de materiais alvo não condutores, e uma fonte de alimentação CC correspondente é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores.
2. O revestidor de pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo pode preparar uma variedade de filmes finos e é amplamente utilizado.
3. O revestidor de pulverização catódica de alto vácuo com alvo triplo é pequeno e fácil de operar.
Parâmetros técnicos do equipamento de revestimento de três alvos:
| Nome do produto | VTC-600-3HD-1000 Instrumento de pulverização catódica magnetron de alvo duplo |
Modelo do produto | VTC-600-3HD-1000 |
| Condições de instalação | Este equipamento deve ser operado em condições de temperatura de 25 ℃ ± 15 ℃ e umidade de 55 % UR ± 10 % UR. 1. Água: O equipamento é equipado com um resfriador autocirculante (encha com água purificada ou deionizada). 2. Alimentação: CA 220 V, 50 Hz, com aterramento adequado necessário. 3. Gás: A câmara deve ser preenchida com gás argônio (pureza ≥ 99,99%). Um cilindro de argônio (com conexão de dupla virola de Ø6 mm) e um regulador de pressão devem ser preparados pelo usuário. 4. Bancada de trabalho: Dimensões 1500 mm × 600 mm × 700 mm, com capacidade de carga ≥ 200 kg. 5. Ventilação: Necessária. |
Parâmetros principais | 1. Potência de entrada: 220V/50Hz. 2. Número de alvos de pulverização catódica: 3. 3. Diâmetro interno da câmara: Ø300mm. 4. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água. 5. Grau de vácuo final: 7,4E-5pa. 6. Especificações da câmara de vácuo: Φ300×330 mm. 7. Sistema de vácuo: bomba mecânica VRD-16, bomba turbomolecular FF-100/150. 8. Restaurar o vácuo: O sistema é bombeado da atmosfera para 5,0E-3pa≤30 min (o sistema é exposto à atmosfera por um curto período de tempo). 9. Sistema de inflação: medidor de vazão mássica bidirecional (1 via argônio 100scc, 1 via argônio 200scc) Gás especial pode ser personalizado. 10. Especificações do alvo de pulverização catódica: Φ2", espessura de 0,1-5 mm (a espessura varia devido aos diferentes materiais do alvo). 11. Estágio de amostra: Φ70mm//aquecível (temperatura ambiente ~ 1000℃). |
Especificações do produto | Tamanho do host: largura 900 mm × profundidade 650 mm × altura 1100 mm |
Acessórios opcionais
| Não. | Nome | Categoria de função | Imagem |
| 1 | Vários alvos (ouro, índio, prata, platina, etc.) | Opcional | - |
| 2 | Alvo magnético forte (para pulverização catódica de material ferromagnético) | Opcional | - |
| 3 | Máscara | Opcional | - |
| 4 | Palco de amostra vibratória | Opcional | - |
| 5 | Dispositivo de revestimento rotativo de camada dupla | Opcional |  |
Garantia:
Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento).
Logística
Sobre nós:
Nossa empresa atua profundamente na área de produção cinematográfica há muitos anos e possui uma experiência excepcional. Além disso, contamos com uma variedade de equipamentos adequados para diferentes materiais, atendendo às suas diversas necessidades. Também podemos ajudá-lo a testar o efeito do equipamento. Você pode nos fornecer amostras e nós as prepararemos para que você possa ver o efeito dos nossos produtos de forma mais intuitiva. Se você aprovar nossos produtos, poderá comprá-los e realizar seu trabalho com mais tranquilidade.
Da consultoria ao pós-venda, oferecemos um serviço de primeira classe a todos os clientes. Nossa equipe profissional pode recomendar o equipamento adequado para você, fornecer suporte técnico durante o uso do produto, responder às suas perguntas e ajudá-lo a executar o projeto com mais tranquilidade. Acreditamos que, com nossos muitos anos de experiência, podemos ajudar mais empresas a atingir seus objetivos.
