Instrumento de pulverização catódica por magnetron de três alvos
1. O equipamento de revestimento de três alvos possui alta precisão, pequena margem de erro nos resultados e maior tranquilidade durante o uso.
2. O equipamento de revestimento de três alvos é fácil de operar e reduz o tempo de aprendizagem.
3. O equipamento de revestimento de três alvos é adequado para uma variedade de materiais, reduzindo o consumo de múltiplos equipamentos.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução ao equipamento de revestimento a vácuo de três alvos:
O equipamento de revestimento a vácuo de três alvos VTC-600-3HD-1000 é um equipamento de revestimento a alto vácuo recém-desenvolvido pela nossa empresa. Ele pode ser usado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes duros, filmes de politetrafluoroetileno, etc. O equipamento de revestimento a vácuo de três alvos VTC-600-3HD-1000 é equipado com três canhões de alvo e três fontes de alimentação: uma fonte de alimentação RF é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais não condutores, uma fonte de alimentação CC é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores e um alvo magnético forte pode ser usado para revestimento por pulverização catódica de materiais ferromagnéticos. Comparado com equipamentos similares, o equipamento de revestimento a vácuo de três alvos apresenta as vantagens de tamanho reduzido e operação fácil, além de permitir o uso de uma ampla gama de materiais. É um equipamento ideal para a preparação de filmes de diversos materiais em laboratório.
Principais características do revestidor por pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo:
1. O revestidor por pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo está equipado com três canhões de alvo, duas fontes de alimentação de RF correspondentes são usadas para revestimento por pulverização catódica de materiais de alvo não condutores e uma fonte de alimentação CC correspondente é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores.
2. O revestidor por pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo pode preparar uma variedade de filmes finos e é amplamente utilizado.
3. O revestidor por pulverização catódica de alvo triplo de alto vácuo é compacto e fácil de operar.
Parâmetros técnicos do equipamento de revestimento de três alvos:
| Nome do produto | VTC-600-3HD-1000 Três alvost Instrumento de pulverização catódica por magnetron |
Modelo do produto | VTC-600-3HD-1000 |
| Condições de Instalação | Este equipamento deve ser operado em condições de temperatura de 25 ℃ ± 15 ℃ e umidade de 55 % UR ± 10 % UR. 1. Água: O equipamento está equipado com um resfriador de circulação automática (abastecer com água purificada ou deionizada). 2. Alimentação: CA 220 V, 50 Hz, com aterramento adequado obrigatório. 3. Gás: A câmara deve ser preenchida com gás argônio (pureza ≥ 99,99%). Um cilindro de argônio (com conexão de dupla virola de Ø6 mm) e um regulador de pressão devem ser providenciados pelo usuário. 4. Bancada de trabalho: Dimensões 1500 mm × 600 mm × 700 mm, com capacidade de carga ≥ 200 kg. 5. Ventilação: Necessária. |
Parâmetros principais | 1. Potência de entrada: 220V/50Hz. 2. Número de alvos de pulverização catódica: 3. 3. Diâmetro interno da câmara: Ø300mm. 4. Método de resfriamento da arma alvo: resfriamento a água. 5. Grau de vácuo final: 7,4E-5pa. 6. Especificações da câmara de vácuo: Φ300×330 mm. 7. Sistema de vácuo: bomba mecânica VRD-16, bomba turbomolecular FF-100/150. 8. Restabelecer o vácuo: O sistema é bombeado da atmosfera para 5,0E-3pa≤30 min (o sistema é exposto à atmosfera por um curto período de tempo). 9. Sistema de inflação: medidor de fluxo de massa bidirecional (1 via para argônio 100scc, 1 via para argônio 200scc). Gás especial pode ser personalizado. 10. Especificações do alvo de pulverização catódica: Φ2", espessura de 0,1 a 5 mm (a espessura varia devido aos diferentes materiais do alvo). 11. Plataforma de amostra: Φ70mm//aquecível (temperatura ambiente ~ 1000℃). |
Especificações do produto | Dimensões da base: largura 900 mm × profundidade 650 mm × altura 1100 mm |
Acessórios opcionais
| Não. | Nome | Categoria da função | Imagem |
| 1 | Diversos alvos (ouro, índio, prata, platina, etc.) | Opcional | - |
| 2 | Alvo magnético forte (para pulverização catódica de material ferromagnético) | Opcional | - |
| 3 | Máscara | Opcional | - |
| 4 | Estágio de amostra vibratório | Opcional | - |
| 5 | Dispositivo de revestimento rotativo de dupla camada | Opcional |  |
Garantia:
Garantia limitada de um ano com suporte vitalício (exceto peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento).
Logística
Sobre nós:
Nossa empresa atua no ramo de produção cinematográfica há muitos anos e possui vasta experiência. Além disso, contamos com uma variedade de equipamentos adequados para diferentes materiais, atendendo às suas diversas necessidades. Podemos também ajudá-lo a testar a eficácia dos equipamentos. Você pode nos fornecer amostras e nós as prepararemos para que você possa visualizar o desempenho dos nossos produtos de forma mais intuitiva. Se você aprovar nossos produtos, poderá adquiri-los e realizar seu trabalho com mais eficiência.
Desde a consultoria até o pós-venda, oferecemos um serviço de primeira classe a todos os nossos clientes. Nossa equipe de profissionais pode recomendar os equipamentos mais adequados, fornecer suporte técnico durante o uso do produto, responder às suas perguntas e ajudá-lo a executar seu projeto com mais tranquilidade. Acreditamos que, com nossa vasta experiência, podemos ajudar ainda mais empresas a alcançar seus objetivos.
