Pequena máquina de pulverização catódica de plasma magnetron CC

1. Potência de entrada do instrumento de pulverização catódica de plasma de magnetron pequeno: 220 V CA 50/60 Hz

2. Potência da máquina de revestimento por pulverização catódica de magnetron DC de laboratório: <1000 W

3. Tensão de saída da máquina de revestimento por pulverização catódica de magnetron CC de laboratório: CC 500 V

4. Corrente de pulverização catódica: 0-80 mA, ajustável

5. Tempo de pulverização catódica: 0-120s, ajustável

1. Dimensões da câmara de quartzo: OD 166 mm x ID 150 mm x Altura 150 mm

2. Vedação: O-ring de borracha de flúor

3. Um obturador de operação manual é instalado na tampa do flange para a pré-pulverização do alvo. Uma conexão de compressão de Ø 6,35 mm serve como porta de entrada de ar para conectar o tubo de entrada de ar. Uma válvula de purga de ar manual é usada para encher a câmara de quartzo com ar.

4. Uma malha de aço inoxidável cobre toda a câmara de quartzo para proteger o plasma.

5. O fluxo de gás de trabalho na câmara é controlado ajustando a válvula de controle de microprecisão no lado direito do alojamento, ajustando assim o nível de vácuo dentro da câmara.

6. A corrente de pulverização catódica é controlada ajustando o potenciômetro no lado direito do invólucro.

1. Uma cabeça de alvo de pulverização catódica de magnetron de 2 polegadas sem refrigeração a água. A temperatura máxima de operação da cabeça de alvo de pulverização catódica de magnetron é de 80 graus Celsius. Acima de 80 graus Celsius, a cabeça de alvo de pulverização catódica de magnetron perderá seu magnetismo e se tornará inoperante.

2. Tempo de pulverização catódica: ajustável de 1 a 120 segundos

3. Alvo de cobre padrão incluído

4. Requisito de tamanho do alvo: φ2" x (0,5-5) mm de espessura

5. Adequado para pulverização catódica de Au, Ag, Cu e outros metais (disponíveis para compra em nossa empresa).

1. Um estágio de amostra com altura ajustável, com uma distância ajustável entre o estágio de amostra e o alvo de 25-70 mm.

2. Tamanho do estágio da amostra: φ2"

3. Aquecimento opcional do estágio de amostra, com temperatura máxima de aquecimento de 500°C.

1. Faixa de medição: 1 × 10-4 mbar a 1000 mbar (1 × 10-4 a 750 torr)

2. Precisão: 1000 mbar a 20 mbar (30% da leitura)

20 a 0,002 mbar (2% da leitura)

3. Repetibilidade: 20 a 0,002 mbar (0,000 a 0,002 mbar) 2%)

4. Umidade operacional: ≤80% a 30°C, ≤50% a 40°C, sem condensação;

5. Temperatura de operação: 5°C-60°C

1. Um medidor de espessura de filme vibratório de quartzo de precisão é instalado no instrumento, permitindo o monitoramento em tempo real da espessura do filme com uma resolução de 0,10 Å.

2. O visor LED fornece exibição e entrada de dados de espessura do filme.

1. Modelo: VRD-8

2. Taxa de bombeamento: 2,2 L/s

3. Potência do motor: 370 W

4. Pressão máxima: 5 × 10-1 Pa (sem carga)

5. Pressão real: ≤ 5 Pa (bombeamento mecânico por 20 minutos em condições frias)

6. Para níveis de vácuo mais altos (10-5 toneladas ou mais), unidades de alto vácuo nacionais ou importadas estão disponíveis.

Dimensões: 500 mm × 350 mm × 550 mm (C × L × A)

Peso: Aproximadamente 20 kg (excluindo bomba de vácuo e equipamento de resfriamento de água)

1. São necessários vários ciclos de pulverização catódica para atingir a espessura de filme desejada.

2. Antes da pulverização catódica, certifique-se de que o cabeçote de pulverização catódica, o alvo, o substrato e o estágio da amostra estejam limpos.

3. Para garantir uma boa adesão entre o filme e o substrato, limpe a superfície do substrato antes da pulverização catódica.

Garantia de um ano e suporte técnico vitalício.

Observações especiais:

1. Consumíveis como elementos de aquecimento, tubos de quartzo e cadinhos de amostra não são cobertos pela garantia.

2. Danos causados pelo uso de gases corrosivos e ácidos não são cobertos pela garantia.

· A pressão dentro da câmara não deve exceder 0,02 MPa (pressão relativa).

· Como a pressão interna do cilindro de gás é relativamente alta, uma válvula redutora de pressão deve ser instalada no cilindro ao introduzir gás no tubo de quartzo. Para garantir a segurança, recomendamos operar com pressão abaixo de 0,02 MPa. Recomendamos a aquisição de uma válvula redutora de pressão de nossa empresa, com faixa de 0,01 MPa a 0,1 MPa, para maior precisão e segurança.

· Não recomendamos o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos. Caso o seu processo exija o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos, implemente medidas de proteção e proteção contra explosão adequadas. Nossa empresa não se responsabiliza por quaisquer problemas causados pelo uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos.