Máquina de pulverização catódica de plasma de 3 alvos

1. Potência de entrada do revestidor de plasma de alvo rotativo 3: CA 220 V 50/60 Hz

2. Corrente de pulverização catódica do revestidor de plasma de alvo rotativo 3: 0-40 mA, ajustável

3. Potência: <1kW

4. Tensão de saída: Máxima 1680 V DC

1. Material: Câmara de quartzo

2. Dimensões: DE 166 mm × DI 150 mm × 150 mm

3. Vedação: anel de vedação

4. Um defletor operável manualmente é instalado na tampa do flange para pré-pulverização catódica do alvo. Uma conexão de compressão de φ 6,35 mm serve como porta de entrada de ar para conexão ao tubo de entrada. Uma válvula de purga de ar manual é usada para injetar ar na câmara de quartzo.

5. Uma cobertura de malha de aço inoxidável cobre toda a câmara de quartzo para proteger o plasma.

6. A vazão do gás de trabalho que entra na câmara de quartzo é controlada ajustando a válvula de controle de microprecisão no lado direito do alojamento, ajustando assim o nível de vácuo dentro da câmara.

7. A corrente de pulverização catódica é controlada ajustando o potenciômetro no lado direito do invólucro.

1. Três alvos de cobre são padrão.

2. Dimensões do alvo: φ47 x (0,1-3) mm de espessura.

3. Outros alvos de metal estão disponíveis para compra em nossa empresa; entre em contato com nosso departamento de vendas para obter mais detalhes.

4. Um defletor operado manualmente é instalado para pré-pulverização do alvo.

1. Um estágio de amostra giratório de 50 mm com parafusos na coluna de suporte do estágio de amostra para ajustar a altura do estágio de amostra.

2. Ângulo de rotação do estágio de amostra: 0/120/240 graus.

3. A distância entre o alvo e o estágio da amostra é ajustável de 20 a 70 mm.

4. O estágio de amostra pode ser aquecido opcionalmente, com uma temperatura máxima de 500°C.

Um painel de controle touchscreen integrado PLC 1.4" controla o vácuo, a corrente e o tempo de pulverização catódica da amostra.

2. Uma função de registro de dados registra parâmetros de processo, como vácuo, corrente e tempo de pulverização catódica para cada execução de pulverização catódica, facilitando o acesso dos clientes aos dados.

1. Modelo: VRD-8

2. Taxa de bombeamento: 2,2 L/s

3. Potência do motor: 370 W

4. Pressão máxima: 5 × 10-1 Pa (sem carga).

5. Pressão real: ≤ 5 Pa (20 minutos de bombeamento mecânico em condições frias).

6. Se você quiser obter um grau de vácuo maior (10-5 toor ou melhor), você pode optar por comprar unidades de alto vácuo nacionais ou importadas.

Dimensões: 460 mm × 400 mm × 500 mm (C × L × A)

Peso: Aproximadamente 20 kg

1. São necessários vários ciclos de pulverização catódica para atingir a espessura de filme desejada.

2. Antes da pulverização catódica, certifique-se de que o cabeçote de pulverização catódica, o alvo, a amostra e o estágio de amostra estejam limpos.

3. Para garantir uma boa aderência entre o filme e o substrato, limpe a superfície do substrato antes da pulverização catódica. Nosso equipamento de limpeza pode ser usado para essa finalidade.

4. Este equipamento pode ser usado para pulverização catódica em uma caixa de luvas (atmosfera de Ar ou N2).

1. A pressão da câmara não deve exceder 0,02 MPa (pressão relativa).

2. Devido à alta pressão dentro do cilindro de gás, uma válvula redutora de pressão deve ser instalada ao introduzir gás no tubo de quartzo. Para garantir a segurança, recomendamos operar a uma pressão abaixo de 0,02 MPa. Recomendamos a aquisição de uma válvula redutora de pressão de nossa empresa, com faixa de 0,01 MPa a 0,1 MPa, para maior precisão e segurança.

3. Não recomendamos o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos. Caso o seu processo exija o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos, implemente medidas de proteção e proteção contra explosão adequadas. Nossa empresa não se responsabiliza por quaisquer problemas decorrentes do uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos.