Máquina de pulverização catódica por plasma de 3 alvos

1. Potência de entrada do revestidor de pulverização catódica por plasma de alvo rotativo triplo: AC 220V 50/60Hz

2. Corrente de pulverização catódica do revestidor de plasma por pulverização catódica com alvo rotativo triplo: 0-40mA, ajustável.

3. Potência: <1kW

4. Tensão de saída: Máximo 1680 V CC

1. Material: Câmara de quartzo

2. Dimensões: Diâmetro externo 166 mm × Diâmetro interno 150 mm × 150 mm

3. Vedação: Vedação com anel O

4. Um defletor operável manualmente é instalado na tampa do flange para pré-pulverização do alvo. Uma conexão de compressão de φ 6,35 mm serve como porta de entrada de ar para conexão ao tubo de entrada. Uma válvula de purga de ar manual é usada para injetar ar na câmara de quartzo.

5. Uma cobertura de malha de aço inoxidável envolve toda a câmara de quartzo para proteger o plasma.

6. A vazão do gás de trabalho que entra na câmara de quartzo é controlada ajustando-se a válvula de controle de microprecisão no lado direito da carcaça, ajustando-se assim o nível de vácuo dentro da câmara.

7. A corrente de pulverização catódica é controlada ajustando o potenciômetro no lado direito da caixa.

1. Três alvos de cobre são padrão.

2. Dimensões alvo: φ47 x (0,1-3) mm de espessura.

3. Outros alvos metálicos estão disponíveis para compra em nossa empresa; entre em contato com nosso departamento de vendas para obter mais detalhes.

4. Um defletor operado manualmente é instalado para pré-pulverização catódica do alvo.

1. Uma plataforma de amostra giratória de 50 mm com parafusos na coluna de suporte da plataforma para ajustar a altura da plataforma.

2. Ângulo de rotação da plataforma de amostra: 0/120/240 graus.

3. A distância entre o alvo e a plataforma de amostra é ajustável de 20 a 70 mm.

4. A plataforma de amostras pode ser aquecida opcionalmente, com uma temperatura máxima de 500°C.

Um painel de controle com tela sensível ao toque integrado a um PLC de 1,4" controla o vácuo, a corrente e o tempo de pulverização da amostra.

2. Uma função de registro de dados grava parâmetros do processo, como vácuo, corrente e tempo de pulverização catódica para cada execução, facilitando o acesso dos clientes aos dados.

1. Modelo: VRD-8

2. Taxa de bombeamento: 2,2 L/s

3. Potência do motor: 370 W

4. Pressão máxima: 5 × 10-1 Pa (sem carga).

5. Pressão real: ≤ 5 Pa (20 minutos de bombeamento mecânico em condições de frio).

6. Se você deseja obter um grau de vácuo mais elevado (10-5 toor ou melhor), pode optar por adquirir unidades de alto vácuo nacionais ou importadas.

Dimensões: 460 mm × 400 mm × 500 mm (C × L × A)

Peso: Aproximadamente 20 kg

1. São necessários múltiplos ciclos de pulverização catódica para atingir a espessura de filme desejada.

2. Antes de iniciar a pulverização catódica, certifique-se de que a cabeça de pulverização, o alvo, a amostra e a plataforma de amostra estejam limpos.

3. Para garantir uma boa adesão entre o filme e o substrato, limpe a superfície do substrato antes da deposição por pulverização catódica. Nosso equipamento de limpeza pode ser usado para essa finalidade.

4. Este equipamento pode ser usado para pulverização catódica em uma caixa de luvas (atmosfera de Ar ou N2).

1. A pressão na câmara não deve exceder 0,02 MPa (pressão relativa).

2. Devido à alta pressão dentro do cilindro de gás, uma válvula redutora de pressão deve ser instalada ao introduzir gás no tubo de quartzo. Para garantir a segurança, recomendamos operar com uma pressão inferior a 0,02 MPa. Recomendamos a aquisição de uma válvula redutora de pressão da nossa empresa, com faixa de 0,01 MPa a 0,1 MPa, para maior precisão e segurança.

3. Não recomendamos o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos. Caso seu processo exija o uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos, implemente medidas de proteção e à prova de explosão adequadas. Nossa empresa não se responsabiliza por quaisquer problemas decorrentes do uso de gases inflamáveis, explosivos ou tóxicos.