Instrumento de pulverização catódica de plasma de três alvos
1. O revestidor de pulverização catódica de plasma de três alvos é equipado com um medidor de vácuo e um medidor de corrente de pulverização catódica, que podem monitorar a operação do equipamento a qualquer momento para obter um efeito de revestimento estável e confiável.
2. O revestidor de pulverização catódica de plasma de três alvos pode ajustar a pressão da câmara de vácuo, a corrente de ionização e selecionar o gás de ionização apropriado por meio do controlador de corrente de pulverização catódica e da válvula de ar de microvácuo para otimizar o efeito do revestimento.
3. A vedação de borracha especialmente projetada na borda do frasco de vidro não fará com que o frasco de vidro quebre após uso prolongado, melhorando assim a durabilidade do Revestidor de Pulverização Pulverizadora de Plasma de Três Alvos.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Liaoning
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução de três alvos de revestimento de pulverização catódica:
O revestidor de pulverização catódica de três alvos GSL-1100X-SPC-16-3 é um equipamento de revestimento simples, confiável e econômico, projetado com base no princípio da pulverização catódica de corrente contínua por diodo (CC). O revestimento de pulverização catódica de diodo CC refere-se ao processo de utilização do efeito de pulverização catódica produzido pelo bombardeio de partículas do material alvo em um ambiente de vácuo para fazer com que os átomos ou moléculas do material alvo sejam ejetados da superfície sólida e depositados no substrato para formar uma película fina. É um tipo de tecnologia de preparação de película fina por deposição física de vapor (PVD). A característica especial do revestidor de pulverização catódica de três alvos é que três alvos são instalados em uma câmara de vácuo, e o estágio de amostra rotativo pode revestir três materiais na mesma amostra por vez. Portanto, é adequado para a preparação de diversas amostras de filmes compostos em laboratório e para a produção de eletrodos experimentais para materiais não condutores. O revestidor de pulverização catódica de três alvos é pequeno, economiza espaço no laboratório, é fácil de operar e é especialmente adequado para uso em laboratório.
Vantagens do revestidor de pulverização catódica de plasma com três cabeças alvo:
1. O revestidor de pulverização catódica de plasma com três cabeças alvo usa juntas de eletrodos de alta tensão seladas com cerâmica, que são mais duráveis e reduzem os custos de manutenção em comparação com as vedações de borracha tradicionais.
2. O revestidor de pulverização catódica de plasma com três cabeças alvo usa uma câmara de vácuo de pulverização catódica de grande capacidade e um alvo de pulverização catódica de área correspondente, o que pode melhorar a uniformidade e a pureza do revestimento.
3. O revestidor de pulverização catódica de plasma com três cabeças alvo passou pela certificação ce e atende aos padrões de segurança.
Parâmetros técnicos do revestidor de pulverização catódica de plasma de três alvos:
| Nome do produto | GSL-1100X-SPC-16-3 Revestidor de Plasma Sputtering com Três Cabeças Alvo |
| Modelo do produto | GSL-1100X-SPC-16-3 |
| Condições de instalação | Este equipamento deve ser usado em uma altitude inferior a 1000 m, uma temperatura de 25℃±15℃ e uma umidade de 55% UR±10% UR. 1. Água: Não é necessário. 2. Eletricidade: CA 220 V 50 Hz, deve ser bem aterrada. 3. Gás: A câmara do equipamento precisa ser preenchida com argônio (pureza acima de 99,99%) e você precisa preparar seu próprio cilindro de gás argônio (com uma válvula redutora de pressão). 4. Bancada de trabalho: tamanho 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacidade de carga acima de 50 kg. 5. Dispositivo de ventilação: Não necessário. |
| Parâmetros principais | 1. Diâmetro do alvo: Ø45mm. 2. Câmara de vácuo: Ø160mm×120mm. 3. Grau de vácuo: ≤4×10-2mbar. 4. Posição alvo: 3. 5. Corrente máxima: 50mA. 6. Tempo limite configurável: 900s. 7. Válvula de ar de microvácuo: conectada à mangueira de Ø3 mm. 8. Tensão limite: 1600 V CC. 9. Bomba mecânica: 2L/s. |
Acessórios padrão do revestidor de pulverização catódica de plasma de três alvos:
| NÃO. | Nome | Qtd. | Foto |
| 1 | Alvo de pulverização catódica de ouro | 1 peça | -- |
| 2 | Alvo de pulverização catódica de cobre | 1 peça | -- |
| 3 | Alvo de pulverização catódica de alumínio | 1 peça | -- |
| 4 | Acessórios para evaporação térmica | 1 pedaço | -- |
| 5 | Fusível | 2 peças | -- |
Acessórios opcionais do revestidor de pulverização catódica de três alvos:
| NÃO. | Nome | Função | Foto |
| 1 | Vários alvos de pulverização catódica, como ouro, índio, prata, platina, etc. | (Opcional) | -- |
Sobre nós:
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