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Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen
Der Dreikopf-Magnetron-Sputtercoater VTC-600-3HD ist ein von unserem Unternehmen neu entwickeltes Beschichtungsgerät und wird zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartfilmen, PTFE-Filmen usw. verwendet. Der Dreikopf-Magnetron-Sputtercoater VTC-600-3HD ist mit drei Target-Kanonen, einer HF-Stromversorgung zum Sputtern von nichtleitenden Materialien und zwei Gleichstromversorgungen zum Sputtern von leitenden Materialien ausgestattet.
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