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Revestimento giratório anticorrosivo (6K RPM e Wafer máx. de 6 pol.)
VTC-200P Vacuum Spin Coater é adequado para processo de semicondutor, cristal, disco óptico, fabricação de placas e revestimento de superfície, etc. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução. A tampa superior da câmara pode aquecer a amostra (função opcional), o que é benéfico para o processo de revestimento de materiais de película fina com alta viscosidade.
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Revestimento giratório anticorrosivo (6K RPM e 6" Wafer máx.) -
VTC-200P Vacuum Spin Coater é adequado para processo de semicondutor, cristal, disco óptico, fabricação de placas e revestimento de superfície, etc. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução. A tampa superior da câmara pode aquecer a amostra (função opcional), o que é benéfico para o processo de revestimento de materiais de película fina com alta viscosidade.
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