Revestidor giratório anticorrosivo (6K RPM e wafer de 6" máx.) -

Introdução ao produto

O Revestidor a Vácuo VTC-200P foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos, litografia e aplicações relacionadas. É adequado para preparar revestimentos usando soluções ácidas ou alcalinas fortes.

A câmara em si não pode ser evacuada; em vez disso, durante a operação, a amostra é fixada no suporte do substrato por adsorção a vácuo. O sistema pode armazenar até 12 programas, cada um contendo 6 estágios sequenciais. Diferentes velocidades de rotação podem ser definidas para cada estágio, permitindo que o revestidor acelere gradualmente até sua velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de uma película fina na superfície da amostra, minimizando o desperdício de material.

A tampa superior da câmara pode ser opcionalmente equipada com uma função de aquecimento, o que facilita o revestimento de materiais de filme altamente viscosos.

Com vantagens como operação fácil, limpeza conveniente e design compacto, o revestidor a vácuo VTC-200P é amplamente utilizado em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para preparação de filmes finos.

Principais Características

1. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, cada um com 6 estágios de execução. A faixa de ajuste da taxa de aceleração e desaceleração para cada estágio é de 100 rpm/s a 2.000 rpm/s, e o intervalo de tempo para cada estágio é de 0 a 60 s.

2. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar.

3. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.

4. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados ​​por desalinhamento.

5. Diferentes mandris podem ser usados ​​de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.

6. Um motor CC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento.

7. Esta máquina pode ser usada em um porta-luvas, mas a parte de controle e a bomba de vácuo devem ser colocadas fora da caixa.

8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).

9. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.

10. A câmara é feita de material PP com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.

11. Sistema operacional inglês

12. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.

13. O controlador adota uma única caixa de controle com visor numérico LCD, que é mais intuitivo e confiável.

TParâmetros técnicos

SAcessórios padrão

Não.	nome	qtd	foto
1	Mandril de vácuo (φ100mm)	1 peça
2	Anel de vedação	1 peça
3	Posicionador/Localizador Central (incluindo 4 pinos de posicionamento)	1 peça
4	Injetor/Seringa de Epóxi (20ml)	1 peça
5	Suporte para injetor/seringa	1 peça
6	Bomba de vácuo sem óleo	1 peça

Acessórios opcionais

Logística