Revestidor giratório anticorrosivo (6K RPM e wafer de 6

Revestidor giratório anticorrosivo (6K RPM e wafer de 6" máx.)

O Revestidor Rotativo a Vácuo VTC-200P é adequado para processos de semicondutores, cristais, discos ópticos, fabricação de placas e revestimento de superfícies, entre outros. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução. A tampa superior da câmara pode aquecer a amostra (função opcional), o que é benéfico para o processo de revestimento de materiais de filme fino com alta viscosidade.

Marca: Shenyang Kejing
A Origem do Produto: Shenyang, China
O tempo de entrega: 10 dias úteis
A capacidade de abastecimento: 50 conjuntos

em formação

Introdução ao produto

O Revestidor a Vácuo VTC-200P foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos, litografia e aplicações relacionadas. É adequado para preparar revestimentos usando soluções ácidas ou alcalinas fortes.

A câmara em si não pode ser evacuada; em vez disso, durante a operação, a amostra é fixada no suporte do substrato por adsorção a vácuo. O sistema pode armazenar até 12 programas, cada um contendo 6 estágios sequenciais. Diferentes velocidades de rotação podem ser definidas para cada estágio, permitindo que o revestidor acelere gradualmente até sua velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de uma película fina na superfície da amostra, minimizando o desperdício de material.

A tampa superior da câmara pode ser opcionalmente equipada com uma função de aquecimento, o que facilita o revestimento de materiais de filme altamente viscosos.

Com vantagens como operação fácil, limpeza conveniente e design compacto, o revestidor a vácuo VTC-200P é amplamente utilizado em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para preparação de filmes finos.

Principais Características

1. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, cada um com 6 estágios de execução. A faixa de ajuste da taxa de aceleração e desaceleração para cada estágio é de 100 rpm/s a 2.000 rpm/s, e o intervalo de tempo para cada estágio é de 0 a 60 s.

2. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar.

3. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.

4. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados por desalinhamento.

5. Diferentes mandris podem ser usados de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.

6. Um motor CC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento.

7. Esta máquina pode ser usada em um porta-luvas, mas a parte de controle e a bomba de vácuo devem ser colocadas fora da caixa.

8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).

9. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.

10. A câmara é feita de material PP com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.

11. Sistema operacional inglês

12. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.

13. O controlador adota uma única caixa de controle com visor numérico LCD, que é mais intuitivo e confiável.

TParâmetros técnicos

Nome do produto	Revestidor a vácuo VTC-200P
Modelo do produto	VTC-200P
Condições de instalação	1. Temperatura e umidade: 10–85% UR (a 25℃, sem condensação); Temperatura: 0–45℃. 2. Ambiente: Não há fontes de vibração fortes ou gases corrosivos perto do equipamento. 3. Água: O equipamento é equipado com uma saída de drenagem. 4. Fonte de alimentação: CA monofásica 220 V, 50 Hz 10 A. 5. Suprimento de ar: Pressão negativa de vácuo (bomba de vácuo) com velocidade de bombeamento ≥ 70 L/min. O sistema também pode ser conectado a um gás inerte de proteção. 6. Mesa de trabalho: tamanho recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacidade de carga ≥ 100 kg (uma mesa de concreto sólido é preferível). 7. Ventilação: Não há requisitos especiais.
Parâmetros Principais (Especificação)	1. Interface de fonte de alimentação: Soquete de alimentação com fusível: CA 220 V, 50 Hz; Especificação do fusível: 10 A, φ5 × 20 mm (personalização CA 110 V 50/60 Hz disponível). 2. Potência total: ≤150W (excluindo bomba de vácuo externa). 3. Câmara principal (Material): Polipropileno. 4. Suporte de substrato (mandril de vácuo): mandril de vácuo de polipropileno de Ø100 mm ×1 (feito de PTFE quando equipado com função de aquecimento). 5. Modo de operação: Capaz de armazenar 12 programas, cada um com 6 estágios sequenciais. 6. Velocidade de centrifugação: 500 rpm – 6000 rpm. 7. Taxa de aceleração/desaceleração: Faixa ajustável por estágio: 100 rpm – 2000 rpm. 8. Tempo de revestimento: Faixa ajustável por estágio: 0 – 60 s. 9. Estabilidade de velocidade: ±1%. 10. Sistema de controle: microcontrolador PCB com operação por teclado e display LCD LMC. 11. Método de aquecimento: Não incluído na configuração padrão (função de aquecimento opcional disponível, com um sistema de controle de temperatura independente, não integrado ao controlador principal). 12. Temperatura de aquecimento: Faixa de temperatura personalizável, RT – 100℃ (limite superior). 13. Potência de aquecimento: AC220V, 1000W. 14. Precisão do controle de temperatura: ±2℃.
	15. Especificações do produto: · Dimensão: · Unidade principal:φ250 mm × 360 mm · Caixa de controle: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Peso: 15 kg

SAcessórios padrão

Não.	nome	qtd	foto
1	Mandril de vácuo (φ100mm)	1 peça
2	Anel de vedação	1 peça	-
3	Posicionador/Localizador Central (incluindo 4 pinos de posicionamento)	1 peça
4	Injetor/Seringa de Epóxi (20ml)	1 peça
5	Suporte para injetor/seringa	1 peça	-
6	Bomba de vácuo sem óleo	1 peça