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Hochgeschwindigkeits-Spincoater mit 200ºC Heizabdeckung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-II eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Er kann für stark saure und stark alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe (für Standard) ausgestattet, die je nach Probengröße angepasst sind. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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