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Revestidor de alta velocidade com tampa de aquecimento de 200 °C

O Revestidor a Vácuo VTC-100PA-II é adequado para processos de semicondutores, cristais, discos ópticos, fabricação de placas e revestimentos de superfície, entre outros. Pode ser usado para soluções de revestimento ácidas e alcalinas fortes. O equipamento é equipado com dois mandris a vácuo de tamanhos diferentes (padrão), ajustados de acordo com o tamanho da amostra. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, China
  • 10 dias úteis
  • 50 conjuntos
  • em formação

Introdução ao produto

O Revestidor Centrifugado a Vácuo Aquecido VTC-100PA-II foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos, fotolitografia e aplicações relacionadas. Ele é capaz de preparar revestimentos usando soluções ácidas e alcalinas fortes.

O sistema é equipado com dois mandris de vácuo de tamanhos diferentes, permitindo que os usuários selecionem o mandril apropriado de acordo com as dimensões da amostra. Durante a operação, a amostra é fixada com segurança no suporte por sucção a vácuo. O revestidor suporta até 12 receitas programáveis, com cada receita contendo 6 estágios sequenciais. Em cada estágio, a velocidade de centrifugação pode ser definida de forma independente, permitindo que o sistema acelere gradualmente até a velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de uma película fina em toda a superfície da amostra, minimizando o desperdício de material e aumentando a eficiência.

O revestidor a vácuo aquecido VTC-100PA-II apresenta operação fácil de usar, limpeza fácil e design compacto, tornando-o uma escolha ideal para laboratórios em universidades e institutos de pesquisa envolvidos na preparação de filmes finos.


Principais Características

1. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar.

2. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.

3. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados ​​por desalinhamento.

4. Diferentes mandris podem ser usados ​​de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.

5. Um motor CC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento.

6. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.

7. A câmara é feita de material de polipropileno com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.

8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).

9. Sistema operacional inglês

10. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.

11. A interface de controle adota uma tela sensível ao toque mais um sistema de controle de computador de placa única, e o visor numérico é mais intuitivo e confiável.


TParâmetros técnicos

Nome do produto

VTC-100PA-II Revestidor a vácuo com função de aquecimento

Modelo do produto

VTC-100PA-II

Condições de instalação

1. Temperatura e umidade: 10–85% UR (a 25 °C, sem condensação); temperatura de operação: 0–45 °C.

2. Ambiente: Livre de fontes de vibração fortes e gases corrosivos.

3. Abastecimento de água: Equipado com saída de águas residuais.

4. Fonte de alimentação: CA monofásica 220 V, 50 Hz, 10 A.

5. Fornecimento de gás: Pressão negativa a vácuo (bomba de vácuo) com velocidade de bombeamento ≥70 L/min. O sistema também pode ser purgado com gases inertes de proteção, como Ar ou N₂.

6. Bancada de trabalho: tamanho recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, com capacidade de carga ≥ 50 kg (bancada de cimento sólido é preferível).

7. Ventilação: Não há requisitos especiais.

Parâmetros Principais

(especificação)

1. Interface de alimentação: Unidade principal: AC220V 50Hz 10A; Aquecimento: AC220V 50Hz 10A 

2. Potência total: ≤1150W (excluindo bomba de vácuo externa)

3. Câmara de revestimento (material): PTFE

4. Suporte de amostra (mandril de vácuo): mandris de PTFE Φ19mm e Φ60mm, um de cada

5. Modo de operação: Até 12 programas armazenáveis; cada programa contém 6 estágios de operação

6. Velocidade de centrifugação: 500 rpm – 10.000 rpm (efetiva)

7. Taxa de aceleração/desaceleração: Faixa ajustável por estágio: 100 rpm – 2000 rpm

8. Tempo de centrifugação: Faixa ajustável por estágio: 0 – 60 s

9. Estabilidade de velocidade: ±1%

10. Sistema de controle: microcontrolador PCB, controle de teclado, display LCD LMC

11. Método de aquecimento: tubo de aquecimento de fibra de carbono com sistema de controle de temperatura independente, não vinculado ao controle da unidade principal

12. Temperatura de aquecimento: Temperatura ambiente – 200℃

13. Potência de aquecimento: AC220V 1000W

14. Precisão do controle de temperatura: ±2℃

15. Especificações do produto:

       · Dimensão: 450 mm × 340 mm × 280 mm

       · Peso: 20 kg

spin coater



SAcessórios padrão

Não.

nome

qtd

foto

1

Mandril de vácuo (incluindo anel de vedação)

(Ø19 mm eØ60 mm)

2 peças

 Spin Coating SystemPrecision Spin Coater

2

Posicionador/Localizador Central (incluindo 4 pinos de posicionamento)

1 peça

spin coater

3

Injetor/Seringa de Epóxi (20ml)

1 peça

 Spin Coating System

4

Suporte para injetor/seringa

1 peça

-

5

Bomba de vácuo sem óleo

1 peça

 Precision Spin Coater

6

Tubo de borracha (incluindo braçadeira)

1 peça

-



OAcessórios opcionais

Não.

nome

tipo funcional

foto

1

Mandris de vácuo de outras especificações

(opcional)

 spin coater

2

Pipeta (fabricada na China)

(opcional)

 Spin Coating System

3

Pipeta (importada)

(opcional)

Precision Spin Coater



Garantia

    Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)



Logística

spin coater


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