真空ポンプ付きプラズマクリーナー

PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用するRF電力は3.0MHz（1％）で、出力電力は7.2W、10.2W、29.6Wの3段階で調整可能です。この機械は主に空気、酸素、アルゴンなどのガスのプラズマを通じて基板上の酸化層や汚染物質を除去し、物体の表面特性（親水性、疎水性など）を変えることもできます。

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