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Limpador de plasma com bomba de vácuo

A câmara de plasma do pequeno limpador de plasma PCE-6 é uma câmara de quartzo de Ø160mm×190mm. A potência de RF utilizada é de 3,0MHz (1%) e a potência de saída é ajustável em três níveis: 7,2W, 10,2W e 29,6W. Este equipamento remove principalmente a camada de óxido e contaminantes dos substratos através de plasma de ar, oxigênio, argônio e outros gases, podendo também alterar as propriedades da superfície dos objetos (como hidrofilicidade e hidrofobicidade, etc.).

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, China
  • 10 dias úteis
  • 50 conjuntos
  • em formação

Apresentação do produto

OLimpador de plasma compacto PCE-6Possui uma câmara de plasma de quartzo com dimensões de Ø160 mm × 190 mm e está equipada com uma fonte de alimentação de radiofrequência que opera a 3,0 MHz (±1%), com três níveis de potência de saída ajustáveis: 7,2 W, 10,2 W e 29,6 W.

Este sistema utiliza plasma gerado a partir de gases como ar, oxigênio ou argônio para remover óxidos e contaminantes de substratos, além de modificar as propriedades da superfície (por exemplo, características hidrofílicas ou hidrofóbicas). É ideal para limpeza de substratos e tratamento de filmes finos.

O PCE-6 é compacto e economiza espaço, sendo ideal para ambientes de laboratório. Ele é equipado com uma bomba de vácuo rotativa dupla para evacuar a câmara, permitindo simultaneamente a introdução de gases como o argônio, o que o torna especialmente adequado para a limpeza de materiais facilmente oxidáveis.


Principais características

1. Através dos botões e interruptores do painel de controle, é possível controlar e ajustar a potência de radiofrequência, a abertura e o fechamento da bomba de vácuo e o tempo de limpeza.

2. Tempo, potência, grau de vácuo e outras informações são exibidas em um conjunto de 4 tubos digitais.

3. Equipado com uma válvula de três vias, que controla com precisão o fluxo de ar de admissão e limpa a câmara com ar atmosférico. A interface de admissão é do tipo "slip" de 6 mm.

4. Um equipamento de fonte de alimentação de radiofrequência de alta potência foi escolhido para realizar experimentos de gravação e remoção de resíduos por plasma.


TParâmetros técnicos

Nome do produto

PCE-6 Limpador de Plasma Pequeno

Modelo do produto

PCE-6

Parâmetros principais

(Especificação)

1. Fonte de alimentação: AC220V 50/60Hz

2. Potência de saída: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W

3. Potência da bomba de vácuo: <500W

4. Potência total: <600W

5. Frequência de RF: 3,0 MHz, potência ajustável manualmente em 3 níveis.

6. Câmara de plasma: câmara de quartzo de alta pureza de Ø160 mm × 190 mm, selada com flange dobrada de alumínio com uma janela de observação de Ø45 mm na flange.

7. Bomba de vácuo: 120 L/min, bomba de vácuo rotativa de duplo estágio com conexão direta

8. Vácuo máximo: 50 mtorr

9. Introdução de gás: Vários gases podem ser introduzidos para gerar plasma, como N₂.2, Ar, H2, O2, ar e gases mistos (selecionados de acordo com as propriedades do material) para limpeza e corrosão.

Dimensões e peso do produto

Dimensões: 400 mm × 300 mm × 300 mm

EMoito:10,2 kg

Acessórios opcionais

Não.
NomeCategoria da funçãoImagem
1Barco/Suporte de Quartzo 2"-6" (para substrato)Opcional-
2Sistema de mistura de gás de prótons ou de flutuação de 2 a 4 canaisOpcional-



Garantia

    Garantia limitada de um ano com suporte vitalício (exceto peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento).



Logística

Plasma Cleaner


produto Tag
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