真空ポンプ付きプラズマクリーナー
Marca Shenyang Kejing
A Origem do Produto 瀋陽、中国
O tempo de entrega 10営業日
A capacidade de abastecimento 50セット
PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用するRF電力は3.0MHz（1％）で、出力電力は7.2W、10.2W、29.6Wの3段階で調整可能です。この機械は主に空気、酸素、アルゴンなどのガスのプラズマを通じて基板上の酸化層や汚染物質を除去し、物体の表面特性（親水性、疎水性など）を変えることもできます。
Haupteigenschaften
1. Über die Tasten und Schalter des Bedienfelds können die HF-Leistung, das Öffnen und Schließen der Vakuumpumpe sowie die Reinigungszeit gesteuert und eingestellt werden.
2. Zeit, Leistung, Vakuumgrad und andere Informationen werden auf einer Gruppe von 4 digitalen Röhren angezeigt.
3. Ausgestattet mit einem Dreiwegeventil, das den Ansaugluftstrom präzise steuern und die Kammer mit atmosphärischer Luft reinigen kann. Die Ansaugschnittstelle ist eine 6-mm-Kartenhülsenschnittstelle.
4. Zur Durchführung von Plasmaätz- und Veraschungsexperimenten wird ein HF-Stromversorgungsgerät mit hoher Leistung ausgewählt.
TTechnische Parameter
Produktname | Plasmareiniger PCE-6 Klein |
Produktmodell | PCE-6 |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Stromversorgung: AC220V 50/60Hz 2. Ausgangsleistung: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Leistung der Vakuumpumpe: <500 W 4. Gesamtleistung: <600W 5. HF-Frequenz: 3,0 MHz, Leistung kann manuell in 3 Stufen eingestellt werden 6. Plasmakammer: hochreine Quarzkammer mit Ø160mm×190mm, abgedichtet mit Aluminium-Faltflansch mit einem Sichtfenster von Ø45mm auf dem Flansch 7. Vakuumpumpe: 120 l/min, direkt angeschlossene zweistufige Rotationsvakuumpumpe 8. Endvakuum: 50 mTorr 9. Gaseinleitung: Zur Erzeugung von Plasma können verschiedene Gase eingeleitet werden, wie z. B. N2, Ar, H2, O2, Luft und Mischgase (ausgewählt nach Materialeigenschaften) zum Reinigen und Ätzen |
Produktabmessungen und Gewicht | Abmessungen: 400 mm × 300 mm × 300 mm INacht:10,2 kg
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Optionales Zubehör | 1. 2"-6"Quarzschiffchen/-träger (zur Aufnahme des Substrats) 2. 2-4-Kanal-Protonen- oder Float-Gasmischsystem |
Garantie
Ein Jahr eingeschränkt mit lebenslangem Support (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
