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真空・大気圧制御スピンコーター
VTC-200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。VTC-200PV 真空スピンコーターのチャンバーは真空にすることができ、完全な真空状態でサンプルをコーティングできるため、空気中で酸化され劣化しやすいフィルム材料に適しています。チャンバーを真空にするときは、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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