Revestidor giratório a vácuo e com atmosfera controlada

Introdução ao produto

O Revestidor a Vácuo VTC-200PV foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos, litografia e aplicações relacionadas. É adequado para preparar revestimentos com soluções ácidas ou alcalinas fortes.

Este sistema permite a evacuação da câmara de revestimento, permitindo que as amostras sejam revestidas sob vácuo completo. Este recurso é particularmente adequado para materiais de película fina, propensos à oxidação ou degradação em contato com o ar. Durante a operação a vácuo, as amostras são fixadas com um mandril de amostra.

Quando não estiver utilizando a evacuação a vácuo, as amostras são mantidas no suporte do substrato por adsorção a vácuo. O sistema pode armazenar até 12 programas, cada um contendo 6 estágios sequenciais. Diferentes velocidades de rotação podem ser definidas para cada estágio, permitindo que o revestidor acelere gradualmente até sua velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de uma película fina na superfície da amostra, minimizando o desperdício de material.

Com vantagens como fácil operação, limpeza conveniente e design compacto, o revestidor a vácuo VTC-200PV é amplamente utilizado em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para preparação de filmes finos.

Principais Características

1. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, cada um com 6 estágios de execução. A faixa de ajuste da taxa de aceleração e desaceleração para cada estágio é de 100 rpm/s a 2.000 rpm/s, e o intervalo de tempo para cada estágio é de 0 a 60 s.

2. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo e também pode ser fixada por meio de colagem ou fixação, o que é fácil de operar.

3. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.

4. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados ​​por desalinhamento.

5. Diferentes mandris podem ser usados ​​de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.

6. Um motor CC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento.

7. A bomba de vácuo de barra paralela sem óleo é usada quando a amostra é fixada por meio de absorção de vácuo e tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.

8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).

9. Quando o revestimento é realizado sob condições de vácuo, o substrato da amostra é fixado por meio de colagem ou fixação.

10. A câmara é feita de material PP com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.

11. Sistema operacional inglês

12. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.

13. O controlador adota uma caixa de controle com display numérico LCD, que é mais intuitivo e confiável.

TParâmetros técnicos

SAcessórios padrão

OAcessórios opcionais

Garantia

    Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)

Logística