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真空・大気圧制御スピンコーター
VTC-200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。VTC-200PV 真空スピンコーターのチャンバーは真空にすることができ、完全な真空状態でサンプルをコーティングできるため、空気中で酸化され劣化しやすいフィルム材料に適しています。チャンバーを真空にするときは、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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Máy tráng quay tốc độ cực cao 10000 vòng/phút
Máy tráng quay chân không VTC-100PAX là máy san phẳng keo chính xác hiệu suất cao. Nó áp dụng khái niệm thiết kế tiên tiến và hợp tác với hệ thống điều khiển chuyển động chính xác để vận hành phân phối keo có độ chính xác cao và đồng đều cao. Có thể lưu trữ 6 nhóm chương trình, mỗi chương trình có thể đạt tới 9 bước. Tất cả các thông số vận hành có thể được cài đặt dễ dàng trên thiết bị như tốc độ, gia tốc, thời gian quay, v.v.
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Máy tráng quay tốc độ cực cao 20000 vòng/phút
Máy tráng quay chân không VTC-100PAH thích hợp cho quá trình bán dẫn, tinh thể, đĩa quang, chế tạo tấm và phủ bề mặt, v.v. Mẫu được cố định bằng phương pháp hấp phụ chân không để có thể lấy mẫu và đặt tự do. Động cơ khởi động nhanh và ổn định, có thể đảm bảo tính đồng nhất và đồng đều của độ dày lớp phủ.
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Vakuumloser Desktop-Spin-Coater zur Verwendung in Handschuhboxen
Der VTC-50A-DC Spin Coater verwendet unabhängige Stromversorgungssysteme für Motorteil und Steuerteil, und das Geschwindigkeitskontrollsystem verwendet einen Single-Chip-Mikrocomputer mit hoher Entstörungsfestigkeit zur Steuerung, sodass die Rotationsgeschwindigkeit im Bereich von 1000-8000 U/min sehr hoch und stabil ist. Der Coater hat während des Betriebs zwei Stufen, nämlich Stufe T1 bei niedriger Geschwindigkeit und Stufe T2 bei hoher Geschwindigkeit.
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und max. 5 Zoll) Verwendung in Handschuhbox
Der Vakuum-Spincoater VTC-100PA-DC ist standardmäßig mit 3 Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet. Je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spincoater VTC-100-DC die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Steuerung der Geschwindigkeit.
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Spin-Spray-Coater (2000 U/min und max. 6 Zoll) mit Heizabdeckung
Der Infrarot-Heiz-Sprüh-Spin-Coater (Klebstoffnivellierer, Entwickler, Klebeschleuder, Spin-Coater) VTC-200-4P mit Heizfunktion der oberen Abdeckung wird hauptsächlich für die Entwicklung von Grafiken und Oberflächenbeschichtungen in der Halbleiter- und Plattenherstellungstechnologie verwendet. Nach dem Klebenivellierungs- oder Entwicklungsprozess verdampft das Lösungsmittel im Kolloidfilm auf den niedrigsten Gehalt. Während des Arbeitsprozesses wird die Entwicklungsflüssigkeit oder das Kolloid in Form von Nebel auf die Probe gesprüht, sodass die Lösung gleichmäßig auf der Probenoberfläche verteilt wird, was der reibungslosen Leistung des Films und des Entwicklungsprozesses förderlich ist.
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Korozyon Önleyici Döndürme Kaplayıcı (6K RPM ve 6" Gofret Maks.) -
VTC-200P Vakumlu Spin Kaplayıcı, yarı iletken proses, kristal, optik disk, plaka yapımı ve yüzey kaplama vb. için uygundur. Ekipman 12 set program saklayabilir ve her set 6 çalışma aşaması içerir. Haznenin üst kapağı numuneyi ısıtabilir (isteğe bağlı fonksiyon), bu da yüksek viskoziteli ince film malzemelerinin kaplanması işlemi için faydalıdır.
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