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Aplicação de Spin Coater no Processo de Fotolitografia de Semicondutores

Degomagem: Utilizando a máquina de revestimento por centrifugação a vácuo VTC-200-4P para o processo de degomagem úmida, o solvente orgânico é gotejado sobre o filme fotorresistente na superfície do padrão, dissolvendo-o e removendo-o, deixando um padrão limpo. Os equipamentos de revestimento disponíveis incluem a máquina de revestimento por centrifugação a vácuo VTC-100PA, a máquina de revestimento por centrifugação a vácuo com aquecimento da tampa superior VTC-100PA-II, a máquina de revestimento por centrifugação a vácuo VTC-100, a máquina de revestimento por centrifugação a vácuo VTC-200PV, a máquina de revestimento por centrifugação a spray VTC-200-4P e a máquina de revestimento por centrifugação ultravioleta VTC-100PA-UV. Diferentes máquinas de revestimento por centrifugação podem ser selecionadas de acordo com o processo específico.

2025/06/16
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