Revestidor giratório (8K rpm, wafer de 4" máx.) com 3 mandris de vácuo
A Máquina de Revestir a Vácuo por Rotação VTC-100 é equipada com 3 mandris de vácuo (padrão) de tamanhos diferentes, que podem ser adaptados de acordo com o tamanho das amostras. Durante o trabalho, a Máquina de Revestir a Vácuo por Rotação VTC-100 utiliza o método de adsorção por placa a vácuo para fixar a amostra na placa de amostra. O equipamento utiliza um programa de dois estágios para controlar a velocidade.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução ao produto
O Revestidor a Vácuo VTC-100 é adequado para processos como fabricação de semicondutores, fotolitografia e revestimento de superfícies. Com operação fácil, limpeza conveniente e design compacto, é utilizado principalmente em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para preparação de filmes finos.
O equipamento adota um método de fixação a vácuo para a amostra, permitindo fácil carregamento e descarregamento de amostras, reduzindo etapas operacionais anteriormente complexas. Ele vem de fábrica com três mandris de vácuo de polipropileno (φ25 mm, φ50 mm e φ100 mm), tornando-o adequado para o revestimento de wafers de silício e outros materiais de diferentes tamanhos.
O sistema de energia interno separa a seção do motor da seção de controle, cada uma com uma fonte de alimentação independente. O sistema de controle de velocidade utiliza um microcontrolador altamente resistente a interferências, garantindo rotação estável na faixa de 1.000 a 8.000 rpm. A centrifugadora inicia rapidamente e mantém a velocidade estável, garantindo uniformidade e consistência da espessura do filme. Além disso, medidas de amortecimento de vibração são aplicadas na estrutura da instalação, tornando o equipamento mais estável durante a operação e reduzindo o ruído.
Principais Características
1. A velocidade é controlada por um programa de dois estágios: a cola é injetada no primeiro estágio de baixa velocidade e a cola é nivelada no segundo estágio de alta velocidade.
2. A amostra é fixada por adsorção a vácuo, o que é fácil de operar e conveniente para pegar e colocar a amostra.
3. Estrutura de alumínio fundido, operação estável e baixo ruído
4. As fontes de alimentação para o motor e para o controlador são fornecidas independentemente.
5. A regulação de velocidade é controlada por um computador de chip único com alta anti-interferência, e a velocidade é muito estável dentro da faixa de 1000 a 8000 rpm.
6. Visor digital LED, com função de contagem regressiva de revestimento por centrifugação
7. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.
TParâmetros técnicos
Nome do produto | Revestidor a vácuo VTC-100 | |
Modelo do produto | VTC-100 | |
Condições de instalação | 1. Temperatura e umidade: 10-85% UR (a 25℃ sem condensação) Temperatura: 0-45℃. 2. Não há nenhuma fonte de vibração forte ou gás corrosivo ao redor do equipamento. 3. Não é necessária água 4. Eletricidade: Monofásica: AC220V 50Hz 10A. 5. Gás: A vazão de exaustão de pressão negativa a vácuo (bomba de vácuo) não é inferior a 70 L/min 6. Bancada de trabalho: 800 mm × 600mm×Peso de suporte recomendado de 700 mm superior a 100 kg (plataforma de cimento sólido é melhor) 7. Dispositivo de ventilação: sem requisitos especiais | |
Os principais parâmetros | 1. Interface de alimentação: Tomada de alimentação com seguro: AC220/110V 50/60Hz, especificação do tubo de seguro é 10A, φ5×20mm 2. Potência total: ≤150W 3. Bandeja de amostra (ventosa): Ventosa de vácuo de polipropileno Φ25mm φ50mm φ100mm, uma de cada 4. Modo de operação: rotação anti-horária, com dois estágios de operação 5. Velocidade de revestimento: Velocidade SPD1: 500-8000 rpm efetiva Velocidade SPD2: 500-8000 rpm efetivas 6. Tempo de revestimento: Tempo T1: 1--600s efetivo Tempo T2: 1--600s efetivo 7. Estabilidade de velocidade: ±1% 8. Modo de controle: microcomputador de chip único PCB, controle de botão, display de tubo digital | |
9. Especificações do produto: · Dimensão: 380 mm × 260 mm × 330 mm · peso: 12 kg |
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SAcessórios padrão
Não. | nome | qtd | foto |
1 | Mandril de vácuo (PP,Ø25 mm,Ø50 mm,Ø100mm) | 1 peça cada | |
2 | Injetor/Seringa | 1 peça | |
3 | Bomba de vácuo sem óleo | 1 peça | ![]() |
OAcessórios opcionais
Não. | nome | tipo funcional | foto |
1 | Mandril de vácuo especial (PTFE, liga de alumínio) | (opcional) | - |
2 | Mandril de tamanho micro | (opcional) | |
3 | Filtro (para bomba de vácuo) | (opcional) | - |
4 | Pipeta (fabricada na China) | (opcional) | |
5 | Pipeta (importada) | (opcional) | |
6 | Placa de fixação de amostra | (opcional) |
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Garantia
Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)
Logística







