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Revestidor giratório (8K rpm, wafer de 4" máx.) com 3 mandris de vácuo

A Máquina de Revestir a Vácuo por Rotação VTC-100 é equipada com 3 mandris de vácuo (padrão) de tamanhos diferentes, que podem ser adaptados de acordo com o tamanho das amostras. Durante o trabalho, a Máquina de Revestir a Vácuo por Rotação VTC-100 utiliza o método de adsorção por placa a vácuo para fixar a amostra na placa de amostra. O equipamento utiliza um programa de dois estágios para controlar a velocidade.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, China
  • 10 dias úteis
  • 50 conjuntos
  • em formação

Introdução ao produto

O Revestidor a Vácuo VTC-100 é adequado para processos como fabricação de semicondutores, fotolitografia e revestimento de superfícies. Com operação fácil, limpeza conveniente e design compacto, é utilizado principalmente em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para preparação de filmes finos.

O equipamento adota um método de fixação a vácuo para a amostra, permitindo fácil carregamento e descarregamento de amostras, reduzindo etapas operacionais anteriormente complexas. Ele vem de fábrica com três mandris de vácuo de polipropileno (φ25 mm, φ50 mm e φ100 mm), tornando-o adequado para o revestimento de wafers de silício e outros materiais de diferentes tamanhos.

O sistema de energia interno separa a seção do motor da seção de controle, cada uma com uma fonte de alimentação independente. O sistema de controle de velocidade utiliza um microcontrolador altamente resistente a interferências, garantindo rotação estável na faixa de 1.000 a 8.000 rpm. A centrifugadora inicia rapidamente e mantém a velocidade estável, garantindo uniformidade e consistência da espessura do filme. Além disso, medidas de amortecimento de vibração são aplicadas na estrutura da instalação, tornando o equipamento mais estável durante a operação e reduzindo o ruído.



Principais Características

1. A velocidade é controlada por um programa de dois estágios: a cola é injetada no primeiro estágio de baixa velocidade e a cola é nivelada no segundo estágio de alta velocidade.

2. A amostra é fixada por adsorção a vácuo, o que é fácil de operar e conveniente para pegar e colocar a amostra.

3. Estrutura de alumínio fundido, operação estável e baixo ruído

4. As fontes de alimentação para o motor e para o controlador são fornecidas independentemente.

5. A regulação de velocidade é controlada por um computador de chip único com alta anti-interferência, e a velocidade é muito estável dentro da faixa de 1000 a 8000 rpm.

6. Visor digital LED, com função de contagem regressiva de revestimento por centrifugação

7. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.



TParâmetros técnicos

Nome do produto

Revestidor a vácuo VTC-100

Modelo do produto

VTC-100

Condições de instalação

1. Temperatura e umidade: 10-85% UR (a 25℃ sem condensação) Temperatura: 0-45℃.

2. Não há nenhuma fonte de vibração forte ou gás corrosivo ao redor do equipamento.

3. Não é necessária água

4. Eletricidade: Monofásica: AC220V 50Hz 10A.

5. Gás: A vazão de exaustão de pressão negativa a vácuo (bomba de vácuo) não é inferior a 70 L/min

6. Bancada de trabalho: 800 mm × 600mm×Peso de suporte recomendado de 700 mm superior a 100 kg (plataforma de cimento sólido é melhor)

7. Dispositivo de ventilação: sem requisitos especiais

Os principais parâmetros

1. Interface de alimentação: Tomada de alimentação com seguro: AC220/110V 50/60Hz, especificação do tubo de seguro é 10A, φ5×20mm

2. Potência total: ≤150W

3. Bandeja de amostra (ventosa): Ventosa de vácuo de polipropileno Φ25mm φ50mm φ100mm, uma de cada

4. Modo de operação: rotação anti-horária, com dois estágios de operação

5. Velocidade de revestimento: Velocidade SPD1: 500-8000 rpm efetiva

                                      Velocidade SPD2: 500-8000 rpm efetivas

6. Tempo de revestimento: Tempo T1: 1--600s efetivo

                                 Tempo T2: 1--600s efetivo

7. Estabilidade de velocidade: ±1%

8. Modo de controle: microcomputador de chip único PCB, controle de botão, display de tubo digital

9. Especificações do produto:

     · Dimensão: 380 mm × 260 mm × 330 mm

     · peso: 12 kg

spin coater



SAcessórios padrão

Não.

nome

qtd

foto

1

Mandril de vácuo

(PP,Ø25 mm,Ø50 mm,Ø100mm)

1 peça cada

 Spin Coating System

2

Injetor/Seringa

1 peça

 Precision Spin Coater

3

Bomba de vácuo sem óleo

1 peça

spin coater



OAcessórios opcionais

Não.

nome

tipo funcional 

foto

1

Mandril de vácuo especial (PTFE, liga de alumínio)

(opcional)

-

2

Mandril de tamanho micro

(opcional)

 Spin Coating System

3

Filtro (para bomba de vácuo)

(opcional)

-

4

Pipeta (fabricada na China)

(opcional)

 Precision Spin Coater

5

Pipeta (importada)

(opcional)

 spin coater

6

Placa de fixação de amostra

(opcional)

Spin Coating System



Garantia

    Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)



Logística

Precision Spin Coater


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