Revestidor de alta velocidade (10 mil rpm e 5" máx.)
O Revestidor a Vácuo VTC-100PA é adequado para processos de semicondutores, cristais, discos ópticos, fabricação de placas e revestimentos de superfície, etc. Pode ser usado para soluções de revestimento ácidas e alcalinas fortes. O equipamento é equipado com dois mandris a vácuo de tamanhos diferentes (padrão), ajustados de acordo com o tamanho da amostra. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução ao produto
O Revestidor a Vácuo VTC-100PA foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos e fotolitografia. Também é adequado para a preparação de filmes usando soluções de revestimento ácidas ou alcalinas fortes.
A unidade vem de fábrica com dois mandris de vácuo de tamanhos diferentes, permitindo que os usuários selecionem o mandril apropriado de acordo com as dimensões da amostra. Durante a operação, o VTC-100PA fixa a amostra no mandril por sucção a vácuo. O dispositivo pode armazenar até 12 programas, cada um contendo 6 estágios de operação. Os diferentes estágios correspondem a diferentes velocidades de centrifugação, permitindo que o aplicador aumente gradualmente a velocidade até a velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de um filme na superfície da amostra, reduzindo o desperdício de material e aumentando a eficiência.
Com recursos como operação fácil, limpeza conveniente e tamanho compacto, o revestidor a vácuo VTC-100PA é amplamente utilizado em laboratórios de universidades, institutos de pesquisa e instalações de P&D para fabricação de filmes finos.
Principais Características
1. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar.
2. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.
3. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados por desalinhamento.
4. Diferentes mandris podem ser usados de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.
5. Um motor DC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento
6. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.
7. A câmara é feita de material PP com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.
8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).
9. Sistema operacional inglês
10. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.
11. A interface de controle adota uma tela sensível ao toque mais um sistema de controle de computador de placa única, e o visor numérico é mais intuitivo e confiável.
TParâmetros técnicos
Nome do produto | Revestidor a vácuo VTC-100PA | |
Modelo do produto | VTC-100PA | |
Condições de instalação | Este equipamento deve ser usado em uma altitude de 1000 m ou menos, uma temperatura de 25℃±15℃ e uma umidade de 55%Rh±10%Rh. 1. Água: equipado com entrada e saída de água 2. Eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter bom aterramento 3. gás: N/A 4. Bancada de trabalho: tamanho 600 mm × 600 mm × 700 mm, suportando mais de 50 kg (uma mesa de cimento sólido é preferível). 5. Dispositivo de ventilação: Não há requisitos especiais | |
Parâmetros principais (Especificação) | 1. Interface de alimentação: AC220V, 50Hz, 10A 2. Potência total: ≤150W (excluindo bomba de vácuo externa) 3. Câmara de revestimento (material): Polipropileno 4. Porta-amostras (mandril de vácuo): Mandris de polipropileno, Φ19mm e Φ60mm, um de cada 5. Modo de operação: Até 12 programas armazenáveis; cada programa inclui 6 estágios operacionais 6. Velocidade de centrifugação: 500 rpm – 10.000 rpm efetivas 7. Taxa de aceleração/desaceleração: Faixa ajustável por estágio: 100 rpm – 2000 rpm 8. Tempo de revestimento: Intervalo de tempo por estágio: 0–60s 9. Estabilidade de velocidade: ±1% 10. Modo de controle: microcontrolador PCB, controle de teclado, display LCD LMC 11. Método de aquecimento: Não disponível | |
Dimensão e peso do produto | 12. Especificações do produto: · Dimensão: 450 mm × 280 mm × 340 mm · Peso: 18 kg |
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SAcessórios padrão
Não. | nome | qtd | foto |
1 | Mandril de vácuo (incluindo anel de vedação) (Ø19 mm eØ60 mm) | 2 peças |
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2 | Posicionador/Localizador Central (incluindo 4 pinos de posicionamento) | 1 peça | |
3 | Injetor/Seringa de Epóxi (20ml) | 1 peça |
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4 | Suporte para injetor/seringa | 1 peça | |
5 | Bomba de vácuo sem óleo | 1 peça |
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6 | Tubo de borracha (incluindo braçadeira) | 1 peça |
OAcessórios opcionais
Não. | nome | tipo funcional | foto |
1 | Mandris de vácuo de outras especificações | (opcional) |  |
2 | Pipeta (fabricada na China) | (opcional) |  |
3 | Pipeta (importada) | (opcional) |  |
Garantia
Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)
Logística
