Revestidor de alta velocidade com tampa de aquecimento de 100 °C

Revestidor de alta velocidade com tampa de aquecimento de 100 °C

O Revestidor Rotativo a Vácuo VTC-100PA-I é adequado para processos de semicondutores, cristais, discos ópticos, fabricação de placas e revestimentos de superfície, entre outros. Pode ser usado para soluções de revestimento ácidas e alcalinas fortes. O equipamento é equipado com dois mandris a vácuo de tamanhos diferentes (padrão), adaptados de acordo com o tamanho da amostra. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução.

Marca: Shenyang Kejing
A Origem do Produto: Shenyang, China
O tempo de entrega: 10 dias úteis
A capacidade de abastecimento: 50 conjuntos

em formação

Introdução ao produto
O Revestidor a Vácuo por Rotação VTC-100PA-I foi projetado para processos de revestimento de superfícies em semicondutores, cristais, discos ópticos e fotolitografia. É adequado para a preparação de revestimentos utilizando soluções ácidas ou alcalinas fortes. O sistema vem de fábrica com dois mandris a vácuo de tamanhos diferentes, permitindo que os usuários escolham o mandril apropriado com base nas dimensões da amostra.

Durante a operação, a amostra é fixada firmemente ao estágio de amostra por meio de um mandril a vácuo. O VTC-100PA-I pode armazenar até 12 programas, cada um com 6 etapas sequenciais. A velocidade de rotação varia entre os diferentes estágios, permitindo que o dispositivo aumente gradualmente até sua velocidade máxima. Isso garante a formação uniforme de uma película fina na superfície da amostra, minimiza o desperdício de material e melhora a eficiência.

O VTC-100PA-I apresenta operação simples, fácil limpeza e design compacto. É amplamente utilizado em laboratórios de universidades e institutos de pesquisa para processos de deposição de filmes finos.

Principais Características

1. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar.

2. O grau de vácuo pode atingir -0,08 MPa.

3. As amostras podem ser facilmente centralizadas usando a ferramenta de posicionamento para reduzir vibrações ou desprendimentos causados por desalinhamento.

4. Diferentes mandris podem ser usados de acordo com as especificações da amostra, e a substituição é conveniente e simples.

5. Um motor CC sem escovas de 24 V é adotado e tem as vantagens de alta confiabilidade, forte adaptabilidade, reparo e manutenção simples, baixo ruído, pequena vibração, operação estável, inicialização rápida e estável, operação estável após aceleração, para garantir a consistência e uniformidade da espessura do revestimento.

6. A bomba de vácuo de barras paralelas sem óleo tem as vantagens de tamanho pequeno, estrutura simples, operação fácil, manutenção conveniente e nenhuma poluição ambiental.

7. A câmara é feita de material de polipropileno com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.

8. O revestimento pode ser realizado em atmosfera de gás inerte (como Ar, N2).

9. Sistema operacional inglês

10. Possui a função de proteção de tampa aberta. Quando a tampa superior é aberta durante o processo de revestimento ou no final do revestimento, a máquina desacelera imediatamente até parar.

11. A interface de controle adota uma tela sensível ao toque mais um sistema de controle de computador de placa única, e o visor numérico é mais intuitivo e confiável.

TParâmetros técnicos

Nome do produto	VTC-100PA-I Revestidor a Vácuo por Centrifugação
Modelo do produto	VTC-100PA-I
Condições de instalação	1. Temperatura e umidade: 10–85% UR (a 25°C, sem condensação); Temperatura de operação: 0–45°C. 2. Ambiente: Livre de fontes de vibração fortes e gases corrosivos. 3. Água: Equipado com saída de drenagem. 4. Fonte de alimentação: monofásica AC220V 50Hz 10A. 5. Gás: Vácuo (pressão negativa) com velocidade de bombeamento ≥70 L/min; o sistema também pode ser conectado a gases inertes de proteção (por exemplo, Ar, N₂). 6. Bancada de trabalho: tamanho recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacidade de carga ≥50 kg (mesa de concreto sólido preferencial). 7. Ventilação: Não há requisitos especiais.
Parâmetros Principais (Especificação)	1. Interface de fonte de alimentação: · Unidade principal: AC220V 50Hz 10A · Aquecimento: AC220V 50Hz 10A 2. Consumo total de energia: ≤1150W (excluindo bomba de vácuo externa) 3. Câmara de revestimento (material): polipropileno 4. Suporte de amostra (mandril de vácuo): mandris de vácuo de PTFE, Ø19 mm e Ø60 mm (um de cada) 5. Modo de operação: até 12 receitas programáveis; cada receita inclui 6 estágios sequenciais 6. Faixa de velocidade de centrifugação: 500–10.000 rpm (efetiva) 7. Taxa de aceleração/desaceleração: ajustável de 100 rpm a 2000 rpm por estágio 8. Tempo de revestimento: 0–60 segundos por estágio 9. Estabilidade de velocidade: ±1% 10. Sistema de controle: microcontrolador PCB com controle de teclado e display LCD LMC 11. Método de aquecimento: Sistema de tubo de aquecimento de fibra de carbono independente (separado do controle da unidade principal) 12. Faixa de temperatura de aquecimento: temperatura ambiente até 100°C 13. Potência de aquecimento: AC220V, 1000W 14. Precisão do controle de temperatura: ±2°C
	15. Especificações do produto: · Dimensão: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Peso: 20 kg

SAcessórios padrão

Não.	nome	qtd	foto
1	Mandril de vácuo (incluindo anel de vedação) (Ø19 mm eØ60 mm)	2 peças
2	Posicionador/Localizador Central (incluindo 4 pinos de posicionamento)	1 peça
3	Injetor/Seringa de Epóxi (20ml)	1 peça
4	Suporte para injetor/seringa	1 peça	-
5	Bomba de vácuo sem óleo	1 peça
6	Tubo de borracha (incluindo braçadeira)	1 peça	-