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Revestidor de alta velocidade (10 mil rpm e 5" máx.) com cobertura UV

O Revestidor Rotativo UV VTC-100PA-UV é adequado para processos de semicondutores, cristais, discos ópticos, fabricação de placas e revestimentos de superfície, etc. A tampa superior adota uma fonte de luz UV e é especialmente adequada para materiais sensíveis à luz UV, que pode solidificar rapidamente o filme revestido. Além disso, a lâmpada UV também possui uma função de polimerização, que pode polimerizar o monômero em um filme de polímero.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, China
  • 10 dias úteis
  • 50 conjuntos
  • em formação

Introdução ao produto

O revestidor giratório VTC-100PA-UV (também conhecido como revestidor fotorresistente, revestidor giratório ou sistema de revestimento giratório) foi projetado para processos como fabricação de semicondutores, cristais, discos ópticos, litografia e revestimento de superfície.

A câmara é feita de polipropileno, proporcionando excelente resistência à corrosão e longa vida útil, sendo adequada para aplicações de revestimento envolvendo soluções ácidas e alcalinas fortes. A tampa superior possui uma função de irradiação por lâmpada UV, tornando-a especialmente adequada para resinas sensíveis a UV. Ela permite a cura rápida de resinas revestidas e também auxilia na polimerização, convertendo monômeros em filmes poliméricos.

Uma porta de injeção de líquido está localizada no centro da tampa superior, equipada com uma tampa; quando for necessário um ambiente de câmara selada, a tampa deve ser inserida. A câmara também possui uma entrada de gás, permitindo a introdução de gás de proteção durante o processo de revestimento por centrifugação.

As amostras são fixadas por adsorção a vácuo, garantindo fácil operação e carregamento/descarregamento convenientes. Com a ferramenta de centralização dedicada, as amostras podem ser posicionadas com precisão no centro do mandril, reduzindo a vibração excêntrica e evitando a quebra do wafer. Diferentes mandris podem ser selecionados de acordo com o tamanho da amostra, e a substituição é simples e conveniente.

O sistema é alimentado por um motor CC sem escovas de precisão, que proporciona inicialização rápida, velocidade estável e garante consistência e uniformidade da espessura do revestimento.



Principais Características

1. A amostra é fixada por meio de adsorção a vácuo, que é fácil de operar e conveniente para coletar e colocar amostras, que podem ser personalizadas conforme necessário.

2. A tampa superior adota uma fonte de luz UV, cuja intensidade pode ser ajustada dentro de um determinado intervalo.

3. O orifício de injeção está localizado no centro da tampa superior e é equipado com um tampão de borracha, que é aplicado quando um ambiente selado é necessário para a câmara.

4. O orifício de entrada de gás na câmara é usado para conectar o gás de proteção.

5. A parte do motor e a parte de controle da luz UV são controladas de forma independente. O sistema de regulação da velocidade do motor é controlado por um computador de placa única e uma tela LCD, com um display numérico mais intuitivo e confiável. A luz UV é controlada por um controlador PLC com forte proteção contra interferências.

6. A velocidade de revestimento desta máquina é de 500 a 1000 RPM. 12 grupos de programas podem ser armazenados, cada grupo de programas contém 6 estágios operacionais, e os parâmetros operacionais de cada estágio podem ser definidos independentemente para fazer a velocidade aumentar lentamente até o limite, o que é propício para formar uma película uniforme na superfície da amostra e não desperdiçará muito.

7. O centrifugador a vácuo UV inicia rapidamente e tem uma velocidade de rotação estável, o que pode garantir a uniformidade e a consistência da espessura do filme.

8. Na estrutura de instalação, são tomadas medidas de absorção de choque para reduzir o ruído durante a operação.

9. A câmara é feita de material PP com vida útil mais longa para melhorar a capacidade de resistência à corrosão química e excelente resistência à fissuração por tensão, e o corpo da máquina adota estrutura de alumínio fundido, que é durável e leve.



TParâmetros técnicos

Nome do produto

VTC-100PA-UV Revestidor de centrifugação UV

Modelo do produto

VTC-100PA-UV

Condições de instalação

1. Temperatura e umidade: 10-85% UR (a 25℃ sem condensação) Temperatura: 0-45℃.

2. Não há nenhuma fonte de vibração forte ou gás corrosivo ao redor do equipamento.

3. Água: Não precisa.

4. Eletricidade: Monofásica: AC220V 50Hz 10A.

5. Gás: Pressão negativa de vácuo (bomba de vácuo) A vazão de ar não é inferior a 70L/min (o equipamento pode passar gás inerte protetor).

6. Bancada de trabalho: Recomenda-se que seja de 800 mm × 600mm×700 mm e suporta uma carga de mais de 50 kg (plataforma de cimento sólido é melhor).

7. Dispositivo de ventilação: Não há requisitos especiais.

Os principais parâmetros

1. Interface de fonte de alimentação: Tomada de alimentação com seguro: AC220V 50Hz, especificação do tubo de seguro é 10A, φ5×20mm (este dispositivo suporta personalização de produto AC110V 50/60Hz).

2. Potência total: ≤180W (excluindo bomba de vácuo externa).

3. Revestimento da cavidade hospedeira (material): polipropileno.

4. Bandeja de amostra (ventosa): ventosa de polipropileno Φ19mm, Φ60mm cada.

5. Modo de operação: 12 conjuntos de programas podem ser armazenados, cada conjunto de programas contém 6 estágios de operação.

6. Velocidade de revestimento: 500 rpm-10000 rpm é eficaz.

7. Taxa de aceleração e desaceleração: O intervalo de ajuste de cada taxa de aceleração e desaceleração é de 100 rpm a 2.000 rpm.

8. Tempo de revestimento: Cada intervalo de tempo: 0-60s.

9. Estabilidade de velocidade: ±1%.

10. Modo de controle do host: controle de tecla do microcomputador de chip único PCB, display LCD LMC.

11. Método de cura: 16 contas de luz LED roxa.

12. Tempo de cura: faixa de ajuste de tempo de luz roxa: 1-800s.

13. Potência de cura: faixa de potência da luz roxa: 5-30W ajustável.

14. Método de controle de cura: tela sensível ao toque (controle independente do sistema de luz roxa, não relacionado ao controle do host).

15. Especificações do produto

       · Dimensões: 450 mm × 280 mm × 340 mm

       · Peso: 18 kg

spin coater


Acessórios padrão

Não.NomeQuantidadeLink da imagem
1Ventosa de vácuo (com anel de vedação) (Ø19mm e Ø60mm)2Spin Coating SystemPrecision Spin Coater
2Localizador central1spin coater
3Bomba de vácuo sem óleo1Spin Coating System


Acessórios opcionais

Não.NomeCategoria funcionalLink da imagem
1
Outros tamanhos de ventosas(Opcional)Precision Spin Coater
2Pistola de pipeta doméstica(Opcional)spin coater
3Pipeta importada(Opcional)Spin Coating System



Garantia

    Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)



Logística

Precision Spin Coater


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