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Revestimento giratório a vácuo e controlado por atmosfera
VTC-200PV Vacuum Spin Coater é adequado para processo de semicondutores, cristal, disco óptico, fabricação de placas e revestimento de superfície, etc. materiais de filme que são facilmente oxidados e deteriorados no ar. Um grampo é usado para fixar a amostra quando a câmara é aspirada. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução.
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