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Spin Coater (8K rpm, 4" Wafer máx.) Com 3 Mandril a Vácuo
O VTC-100 Vacuum Spin Coater é equipado com 3 mandris a vácuo (para padrão) de diferentes tamanhos, e diferentes mandris a vácuo podem ser montados de acordo com o tamanho das amostras. Durante o trabalho, o revestidor giratório a vácuo VTC-100 usa o método de adsorção de placa a vácuo para fixar a amostra na placa de amostra. O equipamento usa um programa de dois estágios para controlar a velocidade.
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Revestimento giratório de mandril a vácuo programável (500-6000 rpm, 8" máx.)
VTC-200 Vacuum Spin Coater tem as vantagens de operação simples, limpeza conveniente e tamanho pequeno. É usado principalmente no processo de cultivo de filmes em laboratórios de faculdades e universidades e institutos de pesquisa científica. Durante o trabalho, o revestidor giratório a vácuo VTC-200 usa o método de adsorção de placa a vácuo para fixar a amostra na placa de amostra. O equipamento usa um programa de dois estágios para controlar a velocidade.
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Revestimento giratório de alta velocidade (10.000 rpm e máximo de 5") com cobertura UV
VTC-100PA-UV UV Spin Coater é adequado para processo de semicondutor, cristal, disco óptico, fabricação de placas e revestimento de superfície, etc. A tampa superior adota fonte de luz UV e é especialmente adequada para materiais sensíveis à luz UV, que podem solidificar rapidamente filme revestido. Além disso, a lâmpada UV também possui uma função de polimerização, que pode polimerizar o monômero em um filme de polímero.
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Revestimento giratório a vácuo e controlado por atmosfera
VTC-200PV Vacuum Spin Coater é adequado para processo de semicondutores, cristal, disco óptico, fabricação de placas e revestimento de superfície, etc. materiais de filme que são facilmente oxidados e deteriorados no ar. Um grampo é usado para fixar a amostra quando a câmara é aspirada. O equipamento pode armazenar 12 conjuntos de programas, e cada conjunto contém 6 estágios de execução.
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