Monitor de espessura de filme EQ-TM106
1. Este instrumento de inspeção de revestimento de laboratório é um monitor de espessura de filme QCM de alta precisão para MBE, OLED e sputtering. Garante que a espessura do revestimento atenda aos requisitos experimentais.
2. O equipamento também apresenta controle de taxa em tempo real, resolução de 0,0136 Å e exportação de dados para PC.
3. O equipamento inclui suporte dedicado antes e depois da venda. Em caso de mau funcionamento ou dano a qualquer componente, entre em contato conosco imediatamente; oferecemos um ano de garantia (que cobre problemas não causados por mau uso).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução ao Monitor de Espessura de Preparação de Filmes:
O monitor de espessura de filme EQ-TM106 utiliza o princípio da oscilação de cristal de quartzo, combinado com tecnologia avançada de medição de frequência, para realizar o monitoramento em tempo real e in situ da espessura do filme. Ele é empregado principalmente durante processos de deposição de filmes finos — como aqueles que envolvem MBE, evaporação térmica de OLED e equipamentos de pulverização catódica por magnetron — para fornecer monitoramento contínuo tanto da espessura da camada do filme quanto da taxa de deposição.
Com base na taxa de deposição em tempo real do filme fino, o monitor EQ-TM106 gera um sinal de saída analógico PWM (Modulação por Largura de Pulso). Funcionando como um sensor de espessura dedicado, ele se integra a controladores externos e fontes de alimentação de evaporação para permitir o controle em malha fechada da taxa da fonte de evaporação, facilitando assim a medição precisa da espessura do filme depositado.
O monitor de espessura de filme EQ-TM106 apresenta um design compacto que economiza espaço no laboratório; além disso, seu princípio de funcionamento simples e interface amigável o tornam particularmente adequado para uso em aplicações de deposição de filmes finos em escala laboratorial.
Especificações técnicas do produto:
| Nome do produto | Monitor de espessura de filme EQ-TM106 | ||
| Modelo do produto | EQ-TM106 | ||
| Especificações técnicas | Módulo de monitoramento EQ-TM106-1 1. Fonte de alimentação: CC 5V (±10%), Corrente máxima 400mA 2. Resolução de frequência: ±0,03 Hz 3. Resolução da espessura do filme: 0,0136 Å (Alumínio) 4. Precisão da espessura do filme: ±0,5% (dependendo das condições do processo, especificamente da posição do sensor, tensão do material, temperatura e densidade) 5. Velocidade de medição: 100 ms – 1 s por medição (configurável) 6. Faixa de medição: 500.000 Å (alumínio) 7. Cristal sensor padrão: 6 MHz 8. Interface de computador: Interface serial RS-232/485 (Taxas de transmissão configuráveis: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Bits de dados: 8; Bits de parada: 1; Paridade: Nenhuma) 9. Saída analógica: resolução de 8 bits, saída PWM (modulação por largura de pulso) (coletor aberto ou saída interna de 5 V) 10. Ambiente operacional: Temperatura 0–50°C; Umidade 5%–85% UR (sem condensação) 11. Dimensões: 90 mm × 50 mm × 18 mm | ||
Unidade de exibição EQ-TM106-2 1. Alimentação de entrada: CA 220V ±10% 2. Potência de saída: DC 5V 3A 3. Visor: 12×2 tubos digitais e LEDs 4. Porta de comunicação: RS-485 (Taxas de transmissão selecionáveis: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Bits de dados: 8; Bits de parada: 1; Paridade: Nenhuma) 5. Dimensões: 182 mm × 65 mm × 160 mm | |||
Sonda EQ-TM106-3 1. Frequência do cristal compatível: 6 MHz 2. Tamanho de cristal compatível: Ø14mm 3. Flange de montagem: CF35 4. Tubos de refrigeração líquida: Ø3mm; Comprimentos: 300mm, 500mm, 1000mm 5. Pressão da água de refrigeração: <0,3MPa 6. Tubo do obturador pneumático: Ø3mm 7. Pressão de ar comprimido: <0,8MPa, >0,5MPa 8. Temperatura de secagem: <200°C (com fluxo de água); Flange <100°C (sem fluxo de água) 9. Interface elétrica: Conector BNC | |||
| Acessórios padrão | 1 | Módulo de monitoramento EQ-TM106-1 | 1 unidade |
| 2 | Unidade de exibição EQ-TM106-2 | 1 unidade | |
| 3 | Sonda EQ-TM106-3 | 1 unidade | |
Principais características do monitor de deposição de filmes finos:
1. Esta unidade pode ser conectada a um computador.
2. A unidade de exibição apresenta uma interface limpa, intuitiva e bem organizada, oferecendo operação conveniente e rápida. Ela fornece uma visualização em tempo real dos parâmetros operacionais, incluindo a espessura do filme medida, a taxa de deposição, a frequência e a porcentagem da saída de controle PWM.
3. Através do software ou da unidade de visualização, os usuários podem configurar várias definições — como tempo de comporta, modo de saída, algoritmo de taxa, parâmetros do material, faixa de saída e parâmetros de comunicação — e podem exportar os dados medidos relevantes diretamente para um arquivo Excel.
4. O dispositivo possui dimensões compactas, alta precisão de medição, operação simples e facilidade de uso.
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