A ascensão da tecnologia de polimento químico-mecânico

19-10-2024

Com o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores, o tamanho dos dispositivos eletrônicos continua a diminuir, e os requisitos para a planicidade da superfície do wafer estão se tornando mais rigorosos. Especialmente no processo de fabricação de circuitos integrados de hoje, a superfície do wafer precisa ser achatada no nível nanométrico, e a tecnologia tradicional de achatamento local não pode mais atender a essa demanda. No entanto, nosso UMIPOL-1203máquina de polimento químico mecânicopode atualmente atingir o achatamento global.

Fully Automatic Chemical Mechanical Polishing Machine


A tecnologia de polimento químico-mecânico surgiu desde a década de 1990 e se tornou uma parte indispensável do processo de fabricação de circuitos integrados de escala muito grande (VLSI). Comparado com processos tradicionais de planarização local, como método de fluxo térmico, método de vidro giratório e deposição seletiva, UNIPOL-1203máquina de polimento químico mecâniconão só pode atingir uma planarização abrangente, mas também tem as vantagens de um processo simples, alta eficiência e baixo custo.Máquina de polimento químico mecânicoé amplamente utilizado no processamento gráfico de wafers de silício.


Shenyang Kejingmáquina de polimento químico mecânico totalmente automática não só pode fornecer planarização de alta precisão de wafers de silício, mas também é amplamente utilizado em retificação e polimento de precisão de materiais cerâmicos e metálicos. Os materiais anticorrosivos usados ​​nomáquina de polimento químico mecânico totalmente automáticapode operar eficientemente mesmo quando o fluido de moagem é corrosivo, melhorando muito a durabilidade e a adaptabilidade do equipamento.


Principais características e vantagens técnicas da máquina de polimento e retificação química mecânica:

1. Achatamento de alta precisão:Máquina de polimento e retificação química mecânicaé equipado com disco de polimento de aço inoxidável ultraplano e eixo rotativo de ultraprecisão, a máquina de polimento químico-mecânico automático pode controlar a planura da superfície no nível nanométrico.

2. Projeto automatizado:Máquina de polimento e retificação química mecânicapossui uma tela sensível ao toque de controle totalmente automática, que pode definir a velocidade do fuso, a velocidade do braço oscilante e o tempo de retificação e polimento, suportando operação multitarefa e melhorando ainda mais a eficiência do processamento.

3. Design resistente à corrosão: A parte de moagem demáquina de polimento mecânico químico automáticoé feito de materiais resistentes à corrosão química, que podem lidar com a corrosão de diferentes líquidos de polimento químico e se adaptar a uma ampla gama de necessidades de retificação de materiais.


Máquina de polimento mecânico químico automáticofornece métodos de processamento de achatamento eficientes e precisos para empresas na indústria de semicondutores, fabricação de precisão e ciência de materiais. Além disso, nossos produtos foram exportados para o Japão, Rússia, Europa e outros países e regiões, e foram bem recebidos pelos clientes. Bem-vindo à nossa empresa ou envie-nos suas necessidades, nos tornaremos seu parceiro de confiança!


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