A ascensão da tecnologia de polimento químico-mecânico

19-10-2024

Com o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores, o tamanho dos dispositivos eletrônicos continua a diminuir e os requisitos para planicidade da superfície do wafer estão se tornando mais rigorosos. Especialmente no processo atual de fabricação de circuitos integrados, a superfície do wafer precisa ser achatada no nível nanométrico, e a tecnologia tradicional de achatamento local não pode mais atender a essa demanda. No entanto, nosso UMIPOL-1203máquina de polimento mecânica químicaatualmente pode alcançar o achatamento global.

Fully Automatic Chemical Mechanical Polishing Machine


A tecnologia de polimento químico-mecânico surgiu desde a década de 1990 e tornou-se uma parte indispensável do processo de fabricação de circuitos integrados de grande escala (VLSI). Comparado com processos tradicionais de planarização local, como método de fluxo térmico, método de vidro giratório e deposição seletiva, UNIPOL-1203máquina de polimento mecânica químicapode não apenas alcançar uma planarização abrangente, mas também tem as vantagens de um processo simples, alta eficiência e baixo custo.Máquina de polimento químico-mecânicoé amplamente utilizado no processamento gráfico de wafer de silício.


Shenyang Kejingmáquina de polimento mecânico químico totalmente automática pode não apenas fornecer planarização de alta precisão de wafers de silício, mas também é amplamente utilizado na retificação e polimento de precisão de materiais cerâmicos e metálicos. Os materiais anticorrosivos utilizados nomáquina de polimento mecânico químico totalmente automáticapode operar com eficiência mesmo quando o fluido de moagem é corrosivo, melhorando muito a durabilidade e adaptabilidade do equipamento.


As principais características e vantagens técnicas da máquina de retificação e polimento químico-mecânico:

1. Achatamento de alta precisão:Máquina de moagem e polimento químico-mecânicoé equipado com disco de polimento de aço inoxidável ultraplano e eixo giratório de ultraprecisão, a máquina de polimento mecânica química automática pode controlar o nivelamento da superfície em nível nanométrico.

2. Projeto automatizado:Máquina de moagem e polimento químico-mecânicopossui uma tela de toque de controle totalmente automático, que pode definir a velocidade do fuso, a velocidade do braço oscilante e o tempo de retificação e polimento, suporta operação multitarefa e melhora ainda mais a eficiência do processamento.

3. Design resistente à corrosão: A parte de moagem demáquina de polimento mecânica química automáticaé feito de materiais químicos resistentes à corrosão, que podem lidar com a corrosão de diferentes líquidos de polimento químico e se adaptar a uma ampla gama de necessidades de retificação de materiais.


Máquina de polimento mecânico químico automáticofornece métodos de processamento de achatamento eficientes e precisos para empresas da indústria de semicondutores, fabricação de precisão e ciência de materiais. Além disso, nossos produtos foram exportados para Japão, Rússia, Europa e outros países e regiões, e foram bem recebidos pelos clientes. Bem-vindo à nossa empresa ou envie-nos as suas necessidades, seremos o seu parceiro de confiança!


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