Enkelthodet høyvakuummagnetronplasmaforstøvningsbelegger

পণ্যের ধরণ

VTC-600-1HD

ইনস্টলেশন শর্তাবলী

এই সরঞ্জামটি 1000m বা তার কম উচ্চতায়, 25℃±15℃ তাপমাত্রায় এবং 55%Rh±10%Rh এর আর্দ্রতা ব্যবহার করতে হবে।

1. জল: সরঞ্জাম একটি স্ব-সঞ্চালন জল কুলার দিয়ে সজ্জিত (বিশুদ্ধ জল বা deionized জল দিয়ে ভরাট)

2. বিদ্যুৎ: AC220V 50Hz, ভাল গ্রাউন্ডিং থাকতে হবে

3. গ্যাস: সরঞ্জামের চেম্বারটি আর্গন গ্যাস (বিশুদ্ধতা 99.99% বা তার বেশি) দিয়ে পূর্ণ করতে হবে এবং ব্যবহারকারীদের দ্বারা আর্গন গ্যাস সিলিন্ডার (Ø6 মিমি ডবল ফেরুল জয়েন্ট সহ) এবং চাপ হ্রাসকারী ভালভ সরবরাহ করতে হবে।

4. ওয়ার্কবেঞ্চ: আকার 1500 মিমি × 600 মিমি × 700 মিমি, 200 কেজির বেশি বহন করে

5. বায়ুচলাচল ডিভাইস: প্রয়োজন

প্রধান পরামিতি

(স্পেসিফিকেশন)

1. পাওয়ার সাপ্লাই ভোল্টেজ: 220V 50Hz

2. পাওয়ার: <1KW (ভ্যাকুয়াম পাম্প সহ নয়)

3. চেম্বারের ভিতরের ব্যাস: Ø300 মিমি

4. ভ্যাকুয়াম ডিগ্রির সীমা: 9.0×10-4Pa

5. নমুনা পর্যায়ে গরম করার তাপমাত্রা: RT-500℃, নির্ভুলতা ±1℃ (তাপমাত্রা প্রকৃত প্রয়োজন অনুযায়ী বাড়ানো যেতে পারে।)

6. টার্গেট বন্দুকের সংখ্যা: 1 পিসি (বিকল্পের জন্য অন্যান্য পরিমাণ)

7. টার্গেট বন্দুকের কুলিং পদ্ধতি: জল ঠান্ডা করা

8. লক্ষ্য উপাদানের আকার: Ø2″, পুরুত্ব 0.1-5 মিমি (বিভিন্ন লক্ষ্যবস্তুর কারণে বিভিন্ন পুরুত্ব)

9. ডিসি স্পুটারিং পাওয়ার: 500W; আরএফ স্পুটারিং পাওয়ার: 300W (টার্গেট পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ধরন ঐচ্ছিক: একটি ডিসি পাওয়ার সাপ্লাই বা একটি আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই।)

10. নমুনা পর্যায়: Ø140mm, ঐচ্ছিক পক্ষপাত ভোল্টেজ ফাংশন আবরণ উচ্চ মানের অর্জন গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী ইনস্টল করা যেতে পারে.

11. নমুনা পর্যায়ের গতি: 1rpm-20rpm এর মধ্যে সামঞ্জস্যযোগ্য

12. কর্মক্ষম গ্যাস: Ar এবং অন্যান্য নিষ্ক্রিয় গ্যাস

13. ইনটেক এয়ার পাথ: ভর ফ্লো মিটার 2টি এয়ার ইনটেক পাথ নিয়ন্ত্রণ করে, একটি হল 100SCCM এবং অন্যটি 200SCCM৷

পণ্যের মাত্রা এবং ওজন

1. প্রধান মেশিনের মাত্রা: 500mm × 560mm × 660mm

2. সামগ্রিক মাত্রা: 1300mm × 660mm × 1200mm

3. ওজন: 160 কেজি

4. ভ্যাকুয়াম চেম্বারের মাত্রা: φ300×300mm

স্ট্যান্ডার্ড আনুষাঙ্গিক

1. ডিসি পাওয়ার কন্ট্রোল সিস্টেম: 1 সেট (ঐচ্ছিক)

2. আরএফ পাওয়ার কন্ট্রোল সিস্টেম: 1 সেট (ঐচ্ছিক)

3. ওয়াটার কুলার: 1 পিসি

4. পলিয়েস্টার PU পাইপ (Ø6mm): 4m

ঐচ্ছিক জিনিসপত্র

1. বিভিন্ন লক্ষ্য উপকরণ যেমন সোনা, ইন্ডিয়াম, সিলভার, প্ল্যাটিনাম ইত্যাদি।

2. ফিল্ম বেধ মনিটর সিস্টেম

3. আণবিক পাম্প (জার্মানি থেকে আমদানি করা)