Instrumento de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo

Introdução ao equipamento de pulverização catódica magnetron:

O revestidor de pulverização catódica magnetron de alto vácuo VTC-600G é um equipamento de revestimento desenvolvido de forma independente, que pode ser usado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes duros, filmes de politetrafluoroetileno, etc. O equipamento de pulverização catódica Magnetron VTC-600G pode ser equipado com várias pistolas de alvo, e a fonte de alimentação RF correspondente é usada para revestimento de pulverização catódica de materiais alvo não condutores, e a fonte de alimentação CC correspondente é usada para revestimento de pulverização catódica de materiais condutores. Comparado com equipamentos semelhantes, o equipamento de pulverização catódica Magnetron não é apenas amplamente utilizado, mas também tem as vantagens de tamanho pequeno e fácil operação. É um equipamento ideal para preparação laboratorial de filmes de materiais, especialmente adequado para pesquisa laboratorial em eletrólitos sólidos e OLEDs.

Principais características do equipamento de pulverização catódica magnetron:

·O instrumento de pulverização catódica de magnetron a vácuo pode ser equipado com várias pistolas de alvo, e a fonte de alimentação RF correspondente é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais alvo não condutores, e a fonte de alimentação CC correspondente é usada para revestimento por pulverização catódica de materiais condutores (a pistola de alvo pode ser substituída conforme as necessidades do cliente).

·O instrumento de pulverização catódica por magnetron a vácuo pode preparar uma variedade de filmes finos e é amplamente utilizado.

·O instrumento de pulverização catódica por magnetron a vácuo é pequeno e fácil de operar.

·Toda a máquina tem um design modular, e a câmara de vácuo, o grupo da bomba de vácuo e a fonte de alimentação de controle são designs divididos, que podem ser ajustados de acordo com as necessidades reais dos usuários.

·A fonte de alimentação pode ser selecionada de acordo com as necessidades reais do usuário. Uma fonte de alimentação pode controlar várias armas de alvo, ou várias fontes de alimentação podem controlar uma única arma de alvo.

Parâmetros técnicos do instrumento de pulverização catódica magnetron a vácuo:

Nome do produto	Instrumento de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo VTC-600G
Modelo do produto	VTC-600G
Parâmetros principais	1. Estrutura: estrutura da porta dianteira da mesa, sistema de escapamento traseiro.
	2. Vácuo máximo: 6,0X10-5Pa.
	3. Taxa de vazamento: 1h≤0,5Pa.
	4. O tempo de exaustão é de cerca de 20 minutos da atmosfera para 5,0X10-3.
	5. Grupo de bomba de vácuo: bomba mecânica + bomba molecular.
	6. Estágio de amostra: φ140, temperatura ambiente -500℃, precisão ±1℃ (a temperatura pode ser aumentada de acordo com as necessidades reais) rotação ajustável dentro de 5rpm-20rpm. A função de polarização pode ser adicionada de acordo com as necessidades do cliente para obter um revestimento de qualidade superior.
	7. Sistema de enchimento de gás: 2 medidores de vazão mássica (Argônio/nitrogênio cada).
	8. O ângulo entre a cabeça alvo e o eixo central do estágio da amostra é de 34°.
	9. Número de cabeças de alvo: 3 (120° entre si).
	10. Método de resfriamento da arma de alvo: resfriamento a água.
	11. Tamanho do material alvo: φ2″, espessura 0,1-5 mm (a espessura varia devido aos diferentes materiais alvo).
	12. Especificações do produto: · Dimensões: Tamanho completo da máquina: 700 mm × 852 mm × 1529 mm;

Acessórios opcionais do equipamento de pulverização catódica magnetron:

Garantia:

Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)

Logística:

Sobre nós:

Somos uma empresa de alta tecnologia com foco em pesquisa, desenvolvimento e produção de máquinas de revestimento, e também somos líderes na indústria. Cada um dos nossos produtos foi cuidadosamente projetado e rigorosamente testado por designers, e tem um alto nível de desempenho e precisão do equipamento. Não focamos apenas no produto em si, mas também prestamos atenção à inovação tecnológica e ao relacionamento com o cliente, e estamos comprometidos em fornecer instrumentos experimentais de alto nível para clientes globais.