Revestimento de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo
1. O vácuo máximo do revestidor de pulverização catódica com cabeça única pode atingir 8,0X10-5Pa.
2. O revestidor de pulverização catódica com cabeça única é equipado com 1 barco de aquecimento por evaporação, 2 estações de forno de fonte de feixe (1 forno de fonte de feixe é padrão), 1 conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com janela de observação de vidro φ150.
3. Após receber o revestidor de pulverização catódica com cabeça única, também forneceremos serviços abrangentes de pós-venda, como orientação remota.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução do revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo:
O revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo VTC-1HD-ZF2 é um equipamento de revestimento de alto vácuo multifuncional, incluindo um instrumento de pulverização catódica de magnetron de alvo único. O revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo pode ser usado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes duros, filmes de politetrafluoroetileno, etc.
Vantagens do revestidor de pulverização catódica por plasma magnetron:
1. O revestidor de pulverização catódica de plasma Magnetron é equipado com um barco de aquecimento de deposição de vapor, que é particularmente adequado para deposição de vapor de filmes metálicos sensíveis ao oxigênio (como Ti, Al, Au, etc.). Há um defletor giratório acima do barco de aquecimento do revestidor de pulverização catódica de plasma Magnetron, 2 estações de forno de fonte de feixe (1 forno de fonte de feixe é padrão). 1 conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com janela de observação de vidro φ150.
2. Âmbito de aplicação do revestidor de pulverização catódica de plasma Magnetron: preparação de dispositivos de materiais de perovskita, materiais bidimensionais, células solares fotovoltaicas, etc.
3.3. Revestimento por pulverização catódica com entrada de energia de cabeça única: AC220V/50Hz. Potência <3,5KW.
Parâmetros técnicos do revestidor de pulverização catódica por plasma magnetron:
| Nome do produto | VTC-1HD-ZF2 Revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo |
| Modelo do produto | VTC-1HD-ZF2 |
| Parâmetros principais | 1. Câmara de vácuo: φ324X330 Vácuo final 8.0X10-5Pa (sistema de bomba molecular) Taxa de vazamento: 2,0x10-10Pa.m3/s O material é aço inoxidável 304 soldado, com tratamento de polimento de superfície eletroquímico. A parte ativa é selada com um anel de vedação de borracha, e a parte inativa é selada com um anel de vedação de cobre. A transmissão de energia adota ligação de acoplamento magnético. A câmara de vácuo possui uma posição de alvo de controle magnético, um conjunto de eletrodos de evaporação (dois) e 2 posições de forno de fonte de feixe (padrão 1 forno de fonte de feixe). Um conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com uma janela de observação de vidro φ150 e uma interface de flange C35 é reservado. |
2. Cabeça de alvo de pulverização catódica: 2 polegadas (φ50,8 mm) Vácuo de trabalho: 10Pa~0,2Pa. Taxa de utilização do material alvo: >35% (alvo de cobre padrão de 3 mm, vácuo de superfície alvo 0,5 Pa) Potência MÁXIMA: <240 W (totalmente resfriado) Tensão de isolamento: >2000V (com fonte de alimentação DC de 1 500W) | |
3. Evaporação de resistência: Tensão de saída de evaporação: CA 0-8 V continuamente ajustável. Corrente limite de evaporação 200A. Potência limite de evaporação <1,6 kW. A temperatura é incontrolável e imensurável. | |
4. Forno de fonte de feixe: Capacidade do cadinho: 3CC. Temperatura de aquecimento: temperatura ambiente até 800°C. A temperatura de aquecimento pode ser medida, ajustada e controlada. Precisão do controle de temperatura: ±0,5°C. Cadinho de quartzo com defletor e termopar como padrão. Fonte de alimentação: 500 W, 36 V. | |
5. Estágio de amostragem: φ120. Controle de temperatura: temperatura ambiente - 500°C. Velocidade: 1-20 rpm. O estágio da amostra pode ser levantado e abaixado manualmente, com um curso máximo ajustável de 50 mm. | |
6. Medidor de espessura de filme EQ-TM106-1. 1) Fonte de alimentação: DC 5V (±10%), corrente máxima 400mA. 2) Resolução de frequência: ±0,03Hz. 3) Resolução da espessura do filme: 0,0136Å (alumínio). 4) Precisão da espessura do filme: ±0,5%, dependendo das condições do processo, especialmente posição do sensor, tensão do material, temperatura e densidade. 5) Velocidade de medição: 100 ms-1 s/tempo, ajustável. 6) Faixa de medição: 500000Å (alumínio). 7) Cristal sensor padrão: 6MHz. 8) Interface do computador: interface serial RS-232/485 (taxa de transmissão 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 pode ser definida, bit de dados: 8, bit de parada: 1, verificação: nenhum) 9) Saída analógica: resolução de 8 bits, saída de modulação de largura de pulso PWM (coletor aberto ou saída interna de 5 V) 10) Ambiente de trabalho: temperatura 0-50℃, umidade 5%-85%RH, sem condensação. 11) Dimensões: 90 mm × 50 mm × 18 mm. | |
| 7. O equipamento é equipado com um chiller (modelo KJ5000) como padrão. Os clientes devem fornecer seu próprio chiller e água deionizada ou água purificada. | |
| 8. Potência de entrada de toda a máquina: AC220V/50Hz. Potência <3,5KW. | |
9. Especificações do produto: Tamanho: cerca de 1300 mm × 660 mm × 1200 mm. Peso: cerca de 160 kg. |
Sobre nós:
Temos equipamentos de produção avançados e um rigoroso sistema de gestão de qualidade para garantir que cada produto atenda aos padrões internacionais. Entre eles, nosso revestidor de pulverização catódica com cabeça única é particularmente adequado para evaporar filmes metálicos sensíveis ao oxigênio. Ele tem desempenho estável e é amplamente utilizado no campo de pesquisa de materiais. Nossa equipe de P&D continua a inovar, combinando a demanda do mercado e o feedback do cliente para fornecer soluções mais precisas e eficientes. Com muitos anos de experiência na indústria e acumulação técnica, não apenas estabelecemos uma boa reputação na indústria, mas também ganhamos alto reconhecimento de muitos clientes.
