Revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo
1. O vácuo máximo do revestidor de pulverização catódica com cabeça única pode atingir 8,0X10-5Pa.
2. O revestidor de pulverização catódica com cabeça única é equipado com 1 barco de aquecimento por evaporação, 2 estações de forno de fonte de feixe (1 forno de fonte de feixe é padrão), 1 conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com janela de observação de vidro φ150.
3. Após receber o revestidor de pulverização catódica com cabeça única, também forneceremos serviços abrangentes de pós-venda, como orientação remota.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução do revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo:
O revestidor de alto vácuo por pulverização catódica magnetron VTC-1HD-ZF2 é um equipamento multifuncional de revestimento de alto vácuo, incluindo um instrumento de pulverização catódica magnetron de alvo único. O revestidor de alto vácuo por pulverização catódica magnetron pode ser usado para preparar filmes ferroelétricos de camada única ou multicamadas, filmes condutores, filmes de liga, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, filmes de óxido, filmes rígidos, filmes de politetrafluoroetileno, etc.
Vantagens do revestidor de pulverização catódica por plasma magnetron:
1. O revestidor de plasma por pulverização catódica Magnetron é equipado com um barco de aquecimento por deposição de vapor, particularmente adequado para a deposição de vapor de filmes metálicos sensíveis ao oxigênio (como Ti, Al, Au, etc.). Há um defletor giratório acima do barco de aquecimento do revestidor de plasma por pulverização catódica Magnetron, 2 estações de forno de fonte de feixe (1 forno de fonte de feixe é o padrão). 1 conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com janela de observação de vidro φ150.
2. Âmbito de aplicação do revestidor de pulverização catódica de plasma Magnetron: preparação de dispositivos de materiais de perovskita, materiais bidimensionais, células solares fotovoltaicas, etc.
3.3. Revestidor por pulverização catódica com cabeça única, entrada de energia: CA 220 V/50 Hz. Potência <3,5 kW.
Parâmetros técnicos do revestidor de pulverização catódica por plasma magnetron:
| Nome do produto | Revestidor de pulverização catódica de magnetron de alto vácuo VTC-1HD-ZF2 | |
| Modelo do produto | VTC-1HD-ZF2 | |
| Parâmetros principais | 1. Câmara de vácuo: φ324×330 Aspirador de pó Ultimate 8.0×10-5Pa (sistema de bomba molecular) Taxa de vazamento: 2,0×10-10Pa.m3/s O material é aço inoxidável 304 soldado, com tratamento de polimento de superfície eletroquímico. A parte ativa é selada com um anel de vedação de borracha, e a parte inativa é selada com um anel de vedação de cobre. A transmissão de energia adota ligação de acoplamento magnético. A câmara de vácuo tem uma posição de alvo de controle magnético, um conjunto de eletrodos de evaporação (dois) e 2 posições de forno de fonte de feixe (forno de fonte de feixe padrão 1). Um conjunto de medidores de vazão (um conjunto de gás argônio) com uma janela de observação de vidro φ150 e uma interface de flange C35 é reservado. | |
2. Cabeça de alvo de pulverização catódica: 2 polegadas (φ50,8 mm) Vácuo de trabalho: 10Pa~0,2Pa. Taxa de utilização do material alvo: >35% (alvo de cobre padrão de 3 mm, vácuo de superfície alvo 0,5 Pa) Potência MÁXIMA: ＜240 W (totalmente refrigerado) Tensão de isolamento: ＞2000V (com fonte de alimentação CC de 1500W) | ||
3. Evaporação por resistência: Tensão de saída de evaporação: CA 0-8 V continuamente ajustável. Corrente limite de evaporação 200A. Potência limite de evaporação ＜1,6KW. A temperatura é incontrolável e imensurável. | ||
4. Forno de fonte de feixe: Capacidade do cadinho: 3CC. Temperatura de aquecimento: temperatura ambiente até 700°C. A temperatura de aquecimento pode ser medida, ajustada e controlada. Precisão do controle de temperatura: ±0,5°C. Cadinho de quartzo com defletor e termopar como padrão. Fonte de alimentação: 500W, 36V. | ||
5. Estágio de amostra: φ120. Controle de temperatura: temperatura ambiente - 500°C. Velocidade: 1-20 rpm. O estágio da amostra pode ser levantado e abaixado manualmente, com um curso máximo ajustável de 50 mm. | ||
6. Medidor de espessura de filme EQ-TM106-1. 1) Fonte de alimentação: DC 5V (±10%), corrente máxima 400mA. 2) Resolução de frequência: ±0,03Hz. 3) Resolução da espessura do filme: 0,0136Å (alumínio). 4) Precisão da espessura do filme: ±0,5%, dependendo das condições do processo, especialmente posição do sensor, tensão do material, temperatura e densidade. 5) Velocidade de medição: 100 ms-1 s/tempo, ajustável. 6) Faixa de medição: 500000Å (alumínio). 7) Cristal sensor padrão: 6MHz. 8) Interface do computador: interface serial RS-232/485 (taxa de transmissão 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 pode ser definida, bit de dados: 8, bit de parada: 1, verificação: nenhuma) 9) Saída analógica: resolução de 8 bits, saída de modulação de largura de pulso PWM (coletor aberto ou saída interna de 5 V) 10) Ambiente de trabalho: temperatura 0-50℃, umidade 5%-85%UR, sem condensação. 11) Dimensões: 90 mm × 50 mm × 18 mm. | ||
| 7. O equipamento é equipado com um chiller (modelo KJ5000) como padrão. Os clientes devem fornecer seu próprio chiller e água deionizada ou purificada. | ||
| 8. Potência de entrada de toda a máquina: CA 220 V/50 Hz. Potência <3,5 kW. | ||
9. Especificações do produto: Tamanho: cerca de 1100 mm × 650 mm × 1100 mm. Peso: cerca de 160 kg. |
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Sobre nós:
Contamos com equipamentos de produção avançados e um rigoroso sistema de gestão da qualidade para garantir que cada produto atenda aos padrões internacionais. Entre eles, nosso revestidor de pulverização catódica com cabeçote único é particularmente adequado para evaporar filmes metálicos sensíveis ao oxigênio. Possui desempenho estável e é amplamente utilizado na área de pesquisa de materiais. Nossa equipe de P&D continua inovando, combinando a demanda do mercado e o feedback dos clientes para fornecer soluções mais precisas e eficientes. Com muitos anos de experiência no setor e acúmulo técnico, não apenas construímos uma boa reputação no setor, como também conquistamos o reconhecimento de muitos clientes.
