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Revestimento de evaporação térmica a vácuo com quatro fontes de aquecimento

O revestidor de evaporação GSL-1800X-ZF4 é um revestidor de evaporação de alto vácuo, especialmente adequado para evaporação e revestimento de filmes metálicos sensíveis ao oxigênio (como Ti, Al, Au, etc.) e pequenos orgânicos moleculares. A máquina é equipada com 4 barcos de aquecimento de evaporação, cada um dos quais pode realizar a evaporação de forma independente.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, China
  • 22 dias úteis
  • 50 conjuntos
  • em formação

Principais Características

1. As unidades de controle de vácuo são todas montadas em uma caixa de controle.

2. Adota um controlador de corrente de revestimento de evaporação independente, que é conveniente e rápido de operar.

3. A câmara de vácuo é equipada com uma válvula de bombeamento lateral KF40 (conectada diretamente à bomba mecânica do estágio frontal para melhorar a eficiência), uma válvula de gaveta CF150 (conectada diretamente à bomba molecular), um flange KF16 (para instalar o medidor de resistência), seis flanges CF35 (um para instalar o medidor de ionização, um para instalar o eletrodo de 2 núcleos e um para instalar o medidor de espessura de filme) e 3 peças de reposição.

4. Há 5 eletrodos resfriados a água na parte inferior da câmara, que podem suportar 4 barcos de aquecimento por evaporação.

5. O estágio de amostra é instalado na parte superior da câmara.

6. Um medidor de espessura de filme de alta resolução pode ser instalado na câmara, e a resolução da medição da espessura do filme (alumínio) é de 0,1Å.

7. Um refrigerador de água circulante pode ser usado.


Parâmetros técnicos

Nome do produto

GSL-1800X-ZF4 Revestidor de evaporação

Modelo do produto

GSL-1800X-ZF4

Condições de instalação

Este equipamento deve ser usado em uma altitude de 1000 m ou menos, uma temperatura de 25℃±15℃ e uma umidade de 55%Rh±10%Rh.

1. Água: O equipamento é equipado com um refrigerador de água autocirculante (enchimento com água pura ou água deionizada)

2. Eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter bom aterramento

3. Bancada de trabalho: Tipo de piso, cobrindo uma área de mais de 2m2

5. Dispositivo de ventilação: necessário

Parâmetros principais

(Especificação)

1. Entrada: AC220V monofásico, 50Hz/60Hz, potência <2,16KW (não incluindo a bomba de vácuo)

2. Saída de evaporação: tensão CA 0-8 V continuamente ajustável, corrente de evaporação limite 200 A, potência de evaporação limite <1,6 kW

3. Câmara de vácuo: Ø300mm (diâmetro interno)×360mm, aço inoxidável, parede interna eletropolida

4. Janela de observação: Ø100mm, selada com anel de vedação especial

5. Bomba de vácuo: bomba turbo molecular de alta velocidade de bombeamento com velocidade de bombeamento de 600L/s

6. Grau de vácuo: 8,0×10-4Bem

7. Limite do vácuo 8,0×10-5Bem

8. Taxa de vazamento: 6,7×10-8Pa·L/S

9. Estágio de amostra: φ120

10. Distância entre o barco de evaporação e o estágio de amostra: 140-200 mm

11. Água de resfriamento necessária: 15L/min

12. Temperatura de aquecimento do estágio de amostra: temperatura ambiente ~ 500 ℃, controle automático de temperatura e medição de temperatura

Dimensões e peso do produto

Dimensão: 900 mm × 1100 mm × 1800 mm

Peso:230 kg

Thermal Evaporation Coater



Garantia

    Um ano limitado com suporte vitalício (não incluindo peças enferrujadas devido a condições inadequadas de armazenamento)



Logística

thermal evaporating


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