Máquina multifuncional de revestimento a vácuo de caixa de luvas para perovskita de célula solar

a. Sistema trifásico de cinco fios. Cinco fios: 380 VAC (+/-5%), 50Hz, três fios energizados, um fio terra e um fio neutro. Potência máxima 8KW, corrente máxima 32A.

b. Além disso, é necessário um fio terra de revestimento independente.

2. Água:

Taxa de fluxo de 15 a 20 litros/minuto, 15 a 25 graus Celsius, diferença de pressão de entrada e saída de água de 1 a 2 kg, pressão de entrada de água de 2 a 3 kg, o diâmetro externo da entrada e saída de água do equipamento é de 12 mm (é recomendável usar um tubo de água de borracha melhor); é recomendável instalar uma válvula de esfera na frente da entrada de água do equipamento, para que a pressão e o fluxo de água possam ser facilmente ajustados.

3. Gás:

a. Ar comprimido: ar comprimido seco, limpo, sem água e sem óleo, tubo de ar de plástico de 8 mm, pressão 5,5-6

kg (0.55-0.6MPA).

b. Nitrogênio comum: nitrogênio seco, usado para quebrar o vácuo na câmara do equipamento. Tubo de ar de plástico de 8 mm, pressão de 1-2 kg (0,1-0,2 MPA).

1. Câmara de aço inoxidável 304 específica para vácuo, eletropolimento interno, diâmetro da câmara de vácuo de cerca de 400 mm de largura, 400 mm de profundidade e 450 mm de altura, com estrutura de porta frontal e traseira vertical.

2. O trilho da porta frontal adota design de trilho duplo importado, com uma aparência mais coordenada e travamento manual. A porta traseira adota uma estrutura de dobradiça manual, que é fácil de apertar e selar; o sistema fornece um revestimento de aço inoxidável com uma estrutura de várias peças para fácil desmontagem e instalação. As superfícies interna e externa da câmara de vácuo são polidas. A câmara é equipada com interfaces de equipamento, como iluminação e medidores de espessura de filme;

3. O lado esquerdo da câmara de vácuo é conectado à válvula principal e à bomba molecular, e à interface de medição de vácuo. A parte superior é equipada com um estágio de amostra rotativo resfriado a água, um defletor de estágio de amostra e uma interface de sonda de medidor de espessura de filme; a placa inferior é equipada com 2 conjuntos de eletrodos de evaporação de metal, 4 conjuntos de fontes orgânicas e 2 portas de instalação de sonda de medidor de espessura de filme;

4. Portas dianteiras e traseiras com janelas de observação de vidro: 1 janela de observação de 4 polegadas de diâmetro com defletor na porta frontal da câmara de vácuo; equipada com vidro antiincrustante; 2 pequenas janelas de observação na porta traseira observam a fonte e a amostra, respectivamente, equipadas com vidro antiincrustante.

II. Fonte de evaporação: equipada com fonte de evaporação metálica e fonte de evaporação não metálica

III. Sistema de alarme completo: detecção e proteção contra escassez de água e subtensão, detecção e proteção de sequência de fase, detecção e proteção de temperatura, detecção e proteção do sistema de vácuo. Alarme para condições anormais, como escassez de água, sobrecorrente, sobretensão e quebra de circuito de bombas e eletrodos, e implementar medidas de proteção correspondentes; sistema de proteção de intertravamento de programa lógico completo.

IV. Método de controle:

Controle automático manual de tela sensível ao toque Panasonic PLC+; taxa e espessura final podem ser inseridas, o ajuste PID controla automaticamente a saída de potência de evaporação. Conteúdo de controle: bomba mecânica, bomba molecular, pneumática, válvula eletromagnética, medidor de vácuo, etc.; aspiração automática, revestimento automático, exaustão automática, etc.;

Proteção de intertravamento completa (intertravamento de hardware, software), nos modos manual e automático, o equipamento está sob proteção de intertravamento completa para garantir a segurança do pessoal e do equipamento. Além disso, o sistema é equipado com um dispositivo de alarme de detecção de fluxo de água.

V. Características estruturais: O sistema possui rodas e pés universais para fácil movimentação. (Conforme mostrado na figura)

NÓS. Detalhes:

Uma peneira molecular é instalada na frente da bomba mecânica, e peças de proteção, como filtros e obturadores, são instaladas na saída de ar. O caminho do gás é projetado para evitar poeira. A fonte orgânica é instalada independentemente no interior.

Todos os estágios de amostra, defletores de fonte e rotações do estágio de amostra são selados com fluido magnético para garantir a estabilidade do sistema a longo prazo.

Relés, blocos de terminais, juntas de tubos de água e gás, válvulas solenoides e outros componentes pequenos são todos produtos genuínos de alta qualidade.

1. Sistema de vácuo:

Usando calibre FF-200/1300 da bomba molecular lubrificada a graxa Zhongke Keyi, velocidade de bombeamento: 1300 L/S + sistema de vácuo de bomba mecânica Feiyue VRD-16, válvula de palheta pneumática de 8 polegadas, medição de vácuo: um medidor de vácuo baixo e um alto (faixa de atmosfera a 3E-9torr), comutação de controle automático de medição de vácuo baixo e alto. As leituras de vácuo são inseridas no PLC para controle do processo.

Válvula de vácuo: Modelo: 2 conjuntos de válvulas de retenção DN40mm; 1 conjunto de válvula pneumática principal Zhongke Keyi DN200.

Selo a vácuo: o selo estático destacável é selado com anel de borracha fluorada; o selo estático raramente desmontado é selado com cobre livre de oxigênio.

2. Limite de vácuo:

Melhor que 2,0×10-5Pa. Taxa de vazamento: Melhor que 5×10－8Pa*L/S (padrão nacional). Após desligar por 12 horas, o grau de vácuo é ≤5Pa.

3. Velocidade de bombeamento: Tempo de bombeamento: pressão atmosférica ~ 5×10-4Pa menos de 20min

1. Estrutura tipo gaveta, com capacidade máxima de 150*150 mm, equipada com defletor de substrato pneumático.

2. A distância entre o substrato e a fonte de evaporação é ajustável eletricamente, e a distância máxima do ajuste de elevação elétrica é de 60 mm.

3. O estágio de amostra é giratório com função de resfriamento a água: a velocidade de rotação do estágio de amostra é continuamente ajustável de 0 a 30 rpm.

1. A máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons de alto vácuo é equipada com 2 conjuntos de fontes de evaporação do tipo barco. A fonte de metal adota um eletrodo de cobre resfriado a água + estrutura de barco de evaporação (temperatura máxima de 1500 graus). A máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons de alto vácuo é equipada com uma fonte de alimentação de evaporação de 2,4 kW. A fonte de alimentação da fonte de evaporação tem dois modos de acionamento: corrente constante e tensão constante, que podem ser alternados. A fonte de alimentação de evaporação pode ser controlada por software ou manualmente. A fonte de alimentação de evaporação também pode ajustar automaticamente a taxa de evaporação por meio do medidor de espessura de filme pid (controle de malha fechada). Com display digital.

2. A máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons de alto vácuo é equipada com 4 conjuntos de fornos de fonte de feixe de evaporação orgânica, 4 fontes de alimentação de evaporação orgânica, fontes de evaporação orgânica com função de exibição de temperatura e fornos de fonte de feixe orgânico usam controladores de temperatura condutivos japoneses. Equipado com 4 conjuntos de cadinhos, temperatura de aquecimento: 0-700 graus Celsius; faixa de ângulo ajustável: 0-15 graus,

1. Fonte de alimentação: DC 5V (±10%), corrente máxima 400mA.

2. Resolução de frequência: ±0,03 Hz.

3. Resolução da espessura do filme: 0,0136Å (alumínio).

4. Precisão da espessura do filme: ±0,5%, dependendo das condições do processo, especialmente posição do sensor, tensão do material, temperatura e densidade.

5. Velocidade de medição: 100 ms-1 s/tempo, ajustável.

6. Faixa de medição: 500000Å (alumínio).