Sistema contínuo de revestimento por pulverização catódica magnetrônica multicâmara
1. Nosso recém-lançado sistema de revestimento por pulverização catódica magnetron VTC-600GC-AM é acionado por um motor com modulação de frequência, oferecendo um alto grau de automação.
2. O sistema de revestimento por pulverização catódica magnetron, meticulosamente projetado e controlado pelo nosso departamento técnico, melhora consideravelmente a estabilidade da operação do equipamento e aprimora significativamente a experiência do usuário.
3. O sistema de revestimento por pulverização catódica magnetron possui uma gama mais ampla de aplicações em comparação com produtos similares, e seu tamanho compacto facilita o armazenamento.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Introdução ao sistema de revestimento por pulverização catódica magnetron:
A máquina de revestimento por pulverização catódica VTC-600GC-AM é um equipamento de preparação de filmes finos de alto desempenho recém-desenvolvido, composto por uma câmara de transferência e uma câmara de revestimento por pulverização catódica. O porta-substrato realiza um movimento de vaivém entre as duas câmaras, acionado por um motor de frequência modulada, alcançando operação síncrona automática; a posição do curso de vaivém e a velocidade de operação podem ser ajustadas com precisão. Ambas as câmaras da máquina de revestimento por pulverização catódica são equipadas com funções de calibração de posicionamento, permitindo o rápido retorno à origem para garantir a estabilidade e a repetibilidade do processo.
A máquina de revestimento por pulverização catódica é adequada para a preparação de diversos tipos de filmes finos, incluindo: filmes finos ferroelétricos, filmes finos condutores, filmes finos de liga, filmes finos semicondutores, filmes finos cerâmicos, filmes finos dielétricos, filmes finos ópticos, filmes finos de óxido, filmes finos duros, filmes finos de PTFE, etc. A máquina de revestimento por pulverização catódica pode ser equipada com uma estrutura multialvo e pode ser combinada com uma fonte de alimentação de radiofrequência (para alvos não condutores) e uma fonte de alimentação de corrente contínua (para alvos condutores) para atender às necessidades de revestimento por pulverização catódica de diferentes sistemas de materiais, tornando-a amplamente aplicável.
Em comparação com os equipamentos tradicionais, a máquina de revestimento por pulverização catódica VTC-600GC-AM não só possui uma ampla gama de aplicações e grande capacidade de expansão funcional, como também apresenta uma estrutura compacta, operação conveniente e dimensões reduzidas. É um sistema ideal para a preparação laboratorial de materiais de filme fino de alta qualidade, particularmente adequado para áreas de pesquisa de ponta, como eletrólitos de estado sólido, OLEDs e materiais optoeletrônicos orgânicos/inorgânicos.
O VTC-600GC-AM oferece aos pesquisadores uma solução profissional e eficiente para a preparação de filmes finos, graças ao seu desempenho estável e confiável, alta uniformidade na deposição por pulverização catódica e flexibilidade de expansão.
Principais características da máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron:
• Estrutura de câmara dupla: A máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron consiste em uma câmara de transferência e uma câmara de pulverização, permitindo a transferência rápida de amostras e o revestimento contínuo, melhorando significativamente a eficiência da preparação do filme.
• Configuração flexível com múltiplos alvos: A máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron pode ser equipada com múltiplos canhões de alvo, suporta fontes de alimentação de RF e CC e é adequada para alvos condutores e não condutores. Os canhões de alvo podem ser trocados livremente de acordo com os requisitos do processo.
• Ampla gama de aplicações: A máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron pode preparar vários tipos de filmes finos, incluindo metais, óxidos, cerâmicas, dielétricos e filmes ópticos, atendendo às necessidades de pesquisa de múltiplos campos.
• Tamanho compacto e operação simples: A máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron possui dimensões reduzidas e um layout racional, tornando-a ideal para uso em laboratório.
• Design modular: A câmara de transferência, a câmara de vácuo, o conjunto de bombas e a fonte de alimentação podem ser configurados independentemente, facilitando a expansão e a manutenção.
• Configuração opcional da fonte de alimentação: A máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron suporta o controle de uma única fonte de alimentação para múltiplos canhões de alvo, ou o controle independente de múltiplas fontes de alimentação, atendendo aos requisitos de diferentes processos de preparação de filmes.
Parâmetros técnicos da máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron:
| Nome do produto | Sistema de revestimento por pulverização catódica magnetrônica contínua multicâmara VTC-600GC-AM |
| Modelo do produto | VTC-600GC-AM |
| Parâmetros principais | 1. Estrutura do equipamento: Design de mesa com abertura frontal e sistema de vácuo montado na parte traseira. 2. Vácuo máximo: 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Taxa de vazamento: ≤ 0,5 Pa / 1 h. 4. Eficiência de bombeamento: Aproximadamente 5 minutos para bombear da pressão atmosférica até 5,0 × 10⁻³ Pa. 5. Conjunto da bomba de vácuo: combinação de bomba mecânica + bomba molecular. 6. Parâmetros da etapa de amostragem: • Dimensões: φ140 mm; • Faixa de temperatura: Temperatura ambiente ~ 500 ℃ (pode ser aumentada mediante solicitação); • Precisão do controle de temperatura: ±1 ℃; • Velocidade de rotação: Ajustável de 5 a 20 rpm; • Módulo de correção de polarização opcional para melhorar a qualidade do filme. 7. Sistema de entrada: Medidor de vazão mássica de canal duplo (Ar / N₂). 8. Ângulo de instalação do alvo: ângulo de 34° entre o alvo e o eixo central da plataforma de amostras. 9. Número de alvos: Configuração padrão: 3 alvos, separados por 120° (mais alvos podem ser adicionados sob encomenda). 10. Método de resfriamento alvo: Resfriamento a água. 11. Dimensões do material alvo: φ2″, espessura de 0,1 a 5 mm (a espessura varia dependendo do tipo de material alvo). |
| Conformidade | Certificação CE, UL ou CSA disponíveis mediante custo adicional. |
Principais pontos de operação do sistema de revestimento por pulverização catódica magnetron:
1. Tratamento da Superfície do Substrato: Antes da aplicação do revestimento, o substrato precisa de um tratamento de superfície adequado para garantir adesão uniforme e boa durabilidade. Os métodos de tratamento de superfície podem incluir limpeza, descontaminação, polimento e ataque químico.
2. Seleção do Revestimento: Ao selecionar um revestimento, suas propriedades físico-químicas, solubilidade, viscosidade e teor de sólidos devem ser considerados, e um revestimento adequado deve ser selecionado com base nos requisitos do material.
3. Controle da Espessura do Revestimento: A espessura do revestimento é um dos fatores importantes que afetam o desempenho do revestimento. A espessura do revestimento precisa ser controlada durante o processo de revestimento, normalmente controlando a velocidade de raspagem do arame ou da lâmina raspadora, a espessura do filme da máquina de revestimento e a viscosidade do revestimento.
4. Controle da Uniformidade do Revestimento: A uniformidade do revestimento também tem um impacto significativo no seu desempenho. Durante o processo de revestimento, é necessário manter uma distribuição uniforme do revestimento e garantir que a superfície revestida esteja livre de defeitos e bolhas visíveis.
5. Configurações dos parâmetros da máquina de revestimento: As configurações dos parâmetros da máquina de revestimento também são cruciais. A temperatura, a velocidade, o nível de vácuo e outros parâmetros da máquina de revestimento precisam ser ajustados adequadamente de acordo com os diferentes tipos de revestimento e substrato para garantir a qualidade e o desempenho do revestimento.
6. Operação Segura: Devem ser tomadas precauções de segurança ao operar a máquina de revestimento, especialmente porque alguns materiais são tóxicos. Recomenda-se o uso de óculos de proteção, luvas e respiradores para evitar danos ao pessoal e ao meio ambiente.
Sobre os nossos serviços:
Há muitos anos nos dedicamos à pesquisa e ao desenvolvimento de equipamentos de laboratório, possuindo tecnologia de ponta e vasta experiência. No que diz respeito às máquinas de revestimento de leito plano, contamos com anos de experiência em P&D, e nossos equipamentos apresentam vantagens significativas em termos de precisão, estabilidade e eficiência.
