Forno tubular de grande diâmetro (6″/8,5″/11″) a 1100℃
1. Câmara de processamento de grande diâmetro:
O forno tubular elétrico está disponível com tubos de quartzo de 6”, 8,5” e 11” para amostras grandes, pesquisa em escala piloto e processamento de wafers semicondutores.
2. Controle de temperatura independente em múltiplas zonas:
O forno tubular elétrico, com opções de aquecimento de uma, duas ou três zonas, oferece excelente uniformidade de temperatura para processos térmicos exigentes.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 dias úteis
- 50 conjuntos
- em formação
Visão geral do forno de laboratório de alta temperatura
Este forno tubular de grande diâmetro foi projetado para laboratórios e equipes de pesquisa em escala piloto que necessitam de um volume interno maior do que o oferecido por um forno tubular padrão de 50 mm ou 80 mm. Ele suporta a sinterização de materiais, recozimento, difusão e processamento térmico em atmosfera controlada em um ambiente de tubo de quartzo.forno de laboratório de alta temperaturaPode ser configurado como um sistema de zona única, zona dupla ou três zonas, dependendo da uniformidade de temperatura e do perfil de processo necessários.
O forno de laboratório de grande diâmetro e alta temperatura é especialmente adequado para amostras maiores, barcos de quartzo, pesquisas relacionadas a wafers, peças cerâmicas, lotes de pó, componentes metálicos e experimentos de ampliação de escala, onde o tamanho da amostra e o tempo de aquecimento são fatores de seleção importantes.
Vantagens do núcleo do forno de laboratório de alta temperatura
Opções de tubo de grande diâmetro: Φ6 polegadas × 1020 mm, Φ8,5 polegadas × 1020 mm ou Φ11 polegadas × 1020 mm.
Flanges de vedação articuladas em aço inoxidável em ambas as extremidades do tubo para facilitar a operação.
Flange refrigerada a água no lado direito com porta de vácuo KF40 para conexão ao fole, bomba e válvula defletora KF40.
Câmara de fibra de alumina de alta pureza com revestimento de alumina resistente a altas temperaturas para melhorar a eficiência do aquecimento e a vida útil.
Controle de temperatura independente para cada zona em modelos multizona.
Aplicações recomendadas para fornos de laboratório de alta temperatura
Experimentos de recozimento e difusão de wafers
Sinterização de amostras cerâmicas de grandes dimensões
pesquisa de ampliação da escala de materiais para baterias
Tratamento térmico de metalurgia do pó
recozimento em atmosfera protetora
Processamento térmico a vácuo de amostras maiores
Corpo do forno e projeto de tubo grande
O forno adota uma estrutura de revestimento de dupla camada com sistema de resfriamento a ar. Dois tampões de alumina estão incluídos e devem ser inseridos em ambas as extremidades do tubo durante o uso para ajudar a manter a zona de temperatura constante e proteger o desempenho da vedação. A câmara de fibra de alumina de alta pureza ajuda a reduzir a perda de energia, enquanto o revestimento do forno melhora a eficiência do aquecimento e prolonga a vida útil da câmara.
De acordo com a especificação original, o forno pode ser usado como forno de recozimento ou de difusão, e pode suportar um wafer de até 8 polegadas colocado em um suporte de quartzo compatível, desde que a configuração correta de tubo e suporte de quartzo seja selecionada.
Flange de vedação e conexão de vácuo
O flange refrigerado a água do lado direito inclui uma porta de vácuo KF40, facilitando a conexão com foles, bombas e válvulas defletoras KF40. Caso a bomba utilize uma interface KF25, será necessário um adaptador KF40 para KF25. Um kit opcional para teste de temperatura, incluindo termopar blindado, fio de compensação e instrumento de medição de temperatura, pode ser adicionado para medir a temperatura interna do tubo.
Sistema de controle de temperatura
O forno inclui um controlador de temperatura YD858 com controle automático de temperatura PID e um programa de 30 segmentos. A precisão do controle é de ±1°C. Cada zona de aquecimento possui um sistema de controle de temperatura independente, permitindo a seleção de modelos de uma, duas ou três zonas, de acordo com o perfil de processo necessário.
Especificações técnicas
| Nome do produto | Forno tubular GSL-1100X-I/II/III-6”/8,5”/11”-S |
|---|---|
| Modelo | GSL-1100X-I/II/III-6”/8.5”/11”-S |
| Fonte de energia | CA 220 V, 50 Hz |
| Poder | 8 kW |
| Temperatura | Temperatura de trabalho de 1000 °C; 1100 °C por menos de 1 hora |
| Taxa de aquecimento recomendada | ≤10°C/min |
| Termopar | Tipo K duplo; um deles é usado como termômetro. |
| Elemento de aquecimento | Liga de ferro-cromo-alumínio dopada com molibdênio |
| comprimento da zona de aquecimento | Zona única: 900 mm; zona dupla: 450 + 450 mm; zona tripla: 200 + 200 + 200 mm |
| Tamanho do tubo | Φ6 polegadas × 1020 mm / Φ8,5 polegadas × 1020 mm / Φ11 polegadas × 1020 mm |
| Flange de vedação | Flange refrigerada a água no lado direito com porta de vácuo KF40 |
| Controlador de temperatura | Controlador YD858, controle automático PID, controle programável de 30 segmentos |
| Precisão de controle | ±1°C |
| Conexão com o PC | Porta de comunicação padrão DB9 para PC |
| Nota de certificação | Controlador/sistema de referência certificado pela MET, conforme listado na especificação. |
| Sistema de vácuo | A bomba mecânica opcional de palhetas rotativas duplas pode atingir 10-2Torr; o sistema de alto vácuo opcional, nacional ou importado, pode atingir 10-5Torr ou melhor. Aspirador múltiplo |
| Resfriador de água opcional | CW-5000; potência do compressor 0,3 kW; vazão 16 L/min; capacidade do tanque 6 L; controle de temperatura 5–30 °C |
| Dimensões | 1880 mm (C) × 700 mm (L) × 930 mm (A) |
| Peso | Aproximadamente 200 kg |
| Garantia | Garantia de um ano e manutenção vitalícia; consumíveis como elementos de aquecimento, tubos de quartzo e cadinhos de amostra não estão incluídos. |
| Conformidade | Certificação CE, UL ou CSA disponíveis mediante custo adicional. |
Sistemas opcionais de vácuo e refrigeração
Para uso padrão em vácuo, uma bomba mecânica de palhetas rotativas duplas pode atingir aproximadamente 10-2Torr. Para requisitos de vácuo mais elevados, podem ser selecionados sistemas de alto vácuo nacionais ou importados para atingir 10-5Torr ou melhor. Um sistema de refrigeração a água CW-5000 está disponível quando for necessária a operação com flange refrigerado a água.
Guia de seleção: Forno tubular de 6 polegadas, 8,5 polegadas ou 11 polegadas
| Tamanho do tubo | Uso recomendado |
|---|---|
| forno tubular de 6 polegadas | Amostras de laboratório de grande porte, processamento em barcos de quartzo, sinterização em atmosfera controlada e lotes de pesquisa de volume médio. |
| Forno tubular de 8,5 polegadas | Experimentos relacionados a wafers, cerâmicas maiores, embarcações mais largas e processos de pesquisa que exigem mais espaço interno. |
| forno tubular de 11 polegadas | Processamento de amostras em grande escala, pesquisa térmica em escala piloto e experimentos onde o diâmetro do tubo é o principal fator de seleção. |
Notas de segurança
A pressão dentro do tubo de quartzo não deve exceder 0,02 MPa (pressão relativa). Ao introduzir gás no tubo de quartzo a partir de um cilindro, deve-se instalar uma válvula redutora de pressão. Recomenda-se uma pressão inferior a 0,02 MPa para uma operação mais segura.
A especificação original não recomenda o fechamento simultâneo das válvulas de entrada e de exaustão durante o aquecimento da amostra. Caso o processo exija o fechamento das válvulas, o manômetro deve ser monitorado constantemente. Se a pressão indicada exceder 0,02 MPa, a válvula de ventilação deve ser aberta imediatamente para evitar acidentes como ruptura do tubo ou ejeção do flange.
Perguntas frequentes
Quais os tamanhos de tubo disponíveis?
O forno está disponível com opções de tubo de Φ6 polegadas × 1020 mm, Φ8,5 polegadas × 1020 mm e Φ11 polegadas × 1020 mm.
Qual é a temperatura máxima?
A temperatura de trabalho é de 1000°C, e o forno pode atingir 1100°C em menos de 1 hora.
É possível configurá-lo com várias zonas de aquecimento?
Sim. Estão disponíveis configurações de aquecimento de zona única, zona dupla e três zonas. Os comprimentos das zonas de aquecimento são de 900 mm, 450 + 450 mm e 200 + 200 + 200 mm, respectivamente.
Que interface de vácuo utiliza?
O flange refrigerado a água do lado direito utiliza uma porta de vácuo KF40. Um adaptador de KF40 para KF25 é necessário ao conectar a uma interface de bomba KF25.
O resfriamento a água é opcional?
Sim. O chiller opcional CW-5000 possui um compressor de 0,3 kW, vazão de 16 L/min, capacidade do tanque de 6 L e faixa de controle de temperatura de 5 a 30 °C.
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